ラマン分光アプリケーション

【カーボン材料の評価】

ダイアモンド

ダイアモンドの特性が評価できます。マッピング測定を行えば、種々のパラメータでイメージングが可能です。

ダイアモンドの特性評価

グラフェン

ラマン測定により、グラフェンの層数がわかります。

ラマン測定により、グラフェンの層数がわかります。

カーボンナノチューブ

Gバンド、Dバンド、RBMから、カーボンナノチューブを評価することが可能です。シングルウォールカーボンナノチューブでは、RBMを解析することで、カーボンナノチューブの直径、カイラリティを評価することができます。

SWCNT(シングルウォールカーボンナノチューブ)

【応力の評価】

単結晶シリコンの二軸引張試験

平面二軸応力が負荷されている単結晶シリコンの微小構造体周辺をマッピング測定しました。
得られたピークシフトを解析したところ、最大で約680MPaの平面二軸応力が負荷されていました。
■マッピング領域:7μm×7μm
■測定ピッチ:0.2μm

単結晶シリコンの二軸引張試験

【ウェハのPL高速マッピング】

3インチAl In Ga PのMQWウェハのピーク波長マッピングの比較

ウェハの全面マッピングをすることができます。
また、高速測定機構SWIFTを用いることで、通常のポイントマッピングよりも高速にマッピング像を得ることができます。

ウェハのPL高速マッピング

【アプリケーションごとに異なる分析手法】

半導体 応力、不純物、超格子構造と欠陥の研究、ヘテロ構造、ドーピング効果、超電導体、ホトルミネッセンスなど
ポリマー 多形同定、ブレンド材料の分布状態解析、モノマーおよび異性体の分析、結晶性、配向性、多層構造、重合反応のモニタリング、複合材料の解析、純度および欠陥の研究、酸化、エージングなど
炭素材料 DLC(Diamond Like Carbon)、フラーレン/ナノチューブの特徴付けダイヤモンド、グラファイト、 炭素薄膜品質分析、ハードディスクコーティングの分析、複合材料および繊維など
化学 相転移、触媒、腐蝕、酸化、電気化学、固体潤滑剤、シリコン化合物、エマルジョン、水の化学、溶媒解析など
物理 セラミックス、応力、不純物、引張り強度、ガラス、損傷など)
薄膜 生体膜、L-B膜、DLC/ダイヤモンドコーティング、フィルムの酸化、保護膜など
地質学、鉱物学、宝石 鉱物に内包されたガスや液体、宝石、相転移、極限条件(温度、圧力など)における鉱物の度挙動、鉱物の結晶構造など

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