
顕微レーザラマン分光装置 LabRAM ARAMIS
概要
LabRAM ARAMISは、高い評価いただいているLabRAMシリーズの拡張性と性能を維持しつつ、高度なオートメーションシステムを採用した最新の顕微レーザラマン分光装置です。
コンピュータ制御による優れた操作環境をご提供し、分析・研究分野のみならず品質管理においても最適な条件でのラマン散乱の測定を可能にしました。
操作性に優れたソフトウエア「LabSpec」と拡張性の高い充実のオプション群で、皆様のニーズにお応えします。
特長
- オートメーション化による簡単操作
レーザは最大4種類(内蔵レーザを3本、外部レーザを1本)を選択でき、レーザの切換えはLabSpecソフトウエアによる自動切換機構を装備しています。
また、レーザの切替えと同時にノッチフィルター(エッジフィルター)も切り替わります。切り替え時には光軸調整は不要です。
図:波長選択による蛍光除去
測定するレーザの波長を適切に選択することで、ラマンスペクトルに対する蛍光の影響(妨害)を回避することができます。
緑:532nm 赤:633nm 青:785nm - コンフォーカルラマン顕微鏡による高い空間分解能
顕微レーザラマン分光装置であるLabRAM ARAMISはシリコンの4thオーダーのように非常に弱いスペクトルの検出に威力を発揮します。
右図では、シリコン表面の空気のO2とN2のスペクトル強度はシリコンの3rdオーダー、4thオーダーに比べてわずかしか現れていません。光学系の共焦点機能が非常に優れているため、焦点位置のシリコンのラマンシグナルのみを高感度に検出できます。
また、共焦点機能の役割を果たすコンフォーカルホールは可変型空間フィルタとして働きます。LabRAM ARAMISは0〜1mmまで1μmステップで制御可能な連続可変型コンフォーカルホールを採用しているため、空間分解能に合わせて、任意のホールサイズで測定できます。
- 高分解能からワンショット測定への対応
新しいグレーティング・ターレットは4枚のグレーティングが装着可能であり、UV〜NIRのスペクトルの範囲において、効率が良く目的に応じたグレーティングを選択することが可能です。
焦点距離460mmの高分解能分光器とCCDイメージングによる高速ラインスキャニングに加えて、最適なグレーティングを選んで使用することで高分解能測定からワンショットでの測定まで幅広く対応します。

- 優れたイメージング機能
DuoScanTM:XYステージ感覚でポイント毎の測定を行うステッピングモードと、短形領域の収集をするスキャンモード、スキャンとXYステージを連動させて高速にマクロイメージを収集する3種類の測定を実現します。
スキャンは共焦点性を保ったまま高速に動作しますので、空間分解能もスペクトル分解能も損なわずに高速ラマンイメージングを行うことができます。
モデリング解析:マッピング測定によって得られた大量のスペクトルから、マニュアルですべての化学成分を抽出して分析するのは熟練したオペレータでも非常に大変な作業です。しかし「LabSpec」に標準搭載されているモデリング解析機能を使えば、ハイパーキューブデータから自動的に各成分のモデルスペクトルを抽出・分析することが可能です。
- 拡張性
ダブル検出器(自動切換機構)、ファイバーカップリング、偏向観察、微分干渉観察、位相差観察、暗視野観察、偏斜照明観察など
製造会社: HORIBA Scientific
仕様
測定波長 | 紫外〜近赤外(200nm〜1600nm) |
|---|---|
光学系 | ツェルニターナ型イメージング分光系 |
焦点距離 | 460mm |
回折格子 | 4枚自動切換え(測定波長に合わせて選択) |
レーザ波長 | 内部レーザ:473nm / 532nm / 633nm / 785nm / 830nm / 1064nm(最大3波長) |
外部レーザ | 244nm / 325nm / 488nm / 514nmから選択の4波長自動切換え |
ラマンフィルタ | 4波長自動切換(紫外〜近赤外) |
レーザ減光フィルタ | 7段階自動切換 |
検出器 | 各種CCD検出器(200nm〜1050nm)、InGaAsアレイ近赤外検出器(800nm〜1600nm)から選択 |
対物レンズ | 10×、50×、100×、他LWD、UV用、NIR用(オプション) |
共焦点機構 | 電動で開口径を可変 |
偏光機構 | 観察光、レーザ光、ラマン光 |
試料観察 | 観察用カメラ、双眼鏡頭(オプション) |
レーザ安全性 | Class1対応 |
本体外形寸法 | W1055×D916×H538mm(※検出器、外部レーザ除く) |
質量 | 約155kg |
電源 | 100V 20A |
オプション | FT−IRユニット、マッピング用電動ステージ、加熱・冷却ステージ、マクロサンプル室(90度/180度励起)、リモートマクロ検出ユニット(Super Head)、ラインスキャン機構、デュオスキャン機構、各観察機能(偏光、微分干渉、位相差、暗視野、偏斜照明観察) |



