顕微レーザーラマン分光測定装置 LabRAM HR Evolution

概要

顕微レーザーラマン LabRAM HRシリーズの最高峰、オートメーション機能を強化

多くの科学研究者の皆様にはLabRAM HRシリーズを10年以上にわたりご利用いただき、 23,000件を超える学術報告にLabRAM HRシリーズのデータが掲載されています。LabRAM HR Evolutionは、紫外~近赤外領域における高いスペクトル分解能測定を継承するとともに、サブミクロンスケールの空間分解能、オートメーション機能を強化した最高峰の顕微ラマン分光装置です。

特長

  • 紫外から近赤外まで 広い測定波長域 200nm~2100nm
  • 焦点距離 800mm : 高いスペクトル分解能を実現する高性能大型分光器採用
  • 自動光軸調整機構
  • 光学系の自動切替機構搭載 : レーザー、フィルタ等をソフトウェアからコントロール
  • 0.5μ m以下の高空間分解能
  • 超高速イメージング SWIFT
  • 超低波数測定モジュール ULF : 10cm-1以下領域までのラマン測定可能
  • 自由度の高いプラットホーム
    豊富なアクセサリの装備が可能、他システムとの複合機を実現。
    RAMAN-AFM、フォトルミネッセンス、透過ラマン、加熱冷却ステージ、
    光学顕微鏡用各種アクセサリ、など

高波数分解能の効果

LabRAM HR Evolutionは高い波数分解能を持ち、より近接したピークの判別や、応力や構造変化、温度変化によるわずかなピーク位置のシフトの検出能力に優れています。

<SiGeのクロスハッチパターン>

Siキャップ層のピーク位置分布をグレーティング1800gr/㎜と600gr/㎜を用いて測定しました。 1800gr/㎜を使用したイメージでは、波数分解能が高いためSiのピーク位置変化を明瞭にとらえることが出来ています。

1800gr/㎜

600gr/㎜

1800gr/mm

[報道発表記事] 

新型の顕微レーザーラマン分光装置発売


製造会社: HORIBA Scientific

仕様

LabRAM HR UV-VIS-NIR

LabRAM HR VIS-NIR

LabRAM HR VIS

波長範囲

200~2100nm

400~2100nm

400~1000nm

低波数カットオフ *1

50 cm-1 / 5 cm-1 (ULF Option)

50 cm-1

スペクトル分解能*2

0.2 cm-1 以下

グレーティング

600 gr/mm、1800 gr/mm 標準搭載(それ以外の刻線数のグレーティングはお問い合わせください)

分光器焦点距離

800mm

空間分解能

水平分解能 (XY) 0.5μm 以下、Z方向分解能 1.5μm 以下(488nm 励起の場合)

レーザー

搭載可能レーザー : 244nm、266nm、325nm、355nm、405nm、442nm、457nm、473nm、488nm、514nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nm など
クラス3B システム(オプションCDRH レーザー安全クラス1 対応)
ファイバーポート(オプション)
レーザー自動切り替え機構(最大6 波長)(オプション)

光学顕微鏡

Olympus BX シリーズ(3メガピクセルカメラ搭載)
(オプション) 暗視野観察、偏光観察、微分干渉観察、蛍光観察
10倍、100倍対物レンズ 標準搭載(長作動レンズほか倍率はお問い合わせください)

減光フィルタ

9段階(100%、50%、25%、10%、5%、3%、1%、0.1%、0.01%)

レイリー光カットフィルタ

エッジフィルタもしくはノッチフィルタ

検出器

(標準搭載)空冷ペルチェCCD 1024 x 256 ピクセル
(オプション)液体窒素冷却CCD
最大3 検出器まで搭載可能

外形寸法

WxDxH = 1300mm x 1200mm x 473mm ※レーザー3波長の場合

質量

約150kg  ※検出器、レーザー除く

電源(本体)

単層AC100 ~ 240V ± 10%

(*1) 基本的な目安値(レーザー波長 488 nm、514 nm、532 nm、633 nm、785 nm)
(*2) FWHM 値(スリット幅 25 μ m、 633 nm 励起、2400 gr/mm グレーティング)

外形寸法図・他(単位:mm)

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