ラマン分光分析活用事例-スポット分析

古くて新しい分析プローブであるラマン分光。多種多様な波長のレーザーや近赤外検出器等も搭載することができようになった最新のラマン分光では、試料ダメージや試料からの蛍光で従来は測定が難しかった試料の測定も可能性が出てきています。また、サンプリングを必要とするFT-IRと異なり、分析プローブでダイレクトに測定できる点もスポット分析には適しています。異物測定・組成分析だけでなく、ラマンが得意とする結晶性評価・応力測定もでき、XRDでは難しかった微小部の測定・評価・解析も可能です。

スポット分析による異物分析

暗視野観察による異物測定

暗視野観察を応用することで、明視野観察だけでは難しい異物測定がしやすくなります。透過照明等も活用すれば、表面にない異物などを見つける事も可能です。

明視野画像
暗視野画像

測定箇所を確実に特定

各種観察モード(明・暗視野、偏光、DIC、蛍光)、モンタージュ、フラットフィールド補正、EasyNav、ParticleFinderなど、各種観察機能・観察補助機能を用い、測定対象物の場所を確実に特定することができます。

スポット分析による組成分析

Feの価数の違い評価

Feの価数の違いが評価できます。XRD等では難しかった微小領域の測定が可能です。

腐食成分の分布の確認

顕微ラマン測定で腐食生成物の挙動を観察。

ラマン分光装置では、酸化物/水酸化物を同定でき、同素体などの結晶判別も可能。そのため、複雑な層を形成する腐食生成物や表面酸化膜の分析に応用されています。

金属表面の分析例 : 錆(酸化鉄)の検出

光学観察像
錆のラマンスペクトル→赤さび(ヘマタイト)であることが判明

スポット分析による結晶性評価

薄膜太陽電池の製造ラインでは、μC-Siの結晶化率のモニターが必要不可欠になっています。