蛍光X線分析法は、X線を試料に照射した時に発生する蛍光X線のエネルギーや強度から、物質の成分元素や構成比率を分析する手法です。(蛍光X線の発生原理 詳細はこちらへ
蛍光X線は元素毎にそのエネルギーが決まっています。
また、蛍光X線の強度は試料を構成する元素の量に関係しています。
X線はさらに、物質を透過する能力が高く、固体、液体、粉体を非破壊で分析することにも適しています。

蛍光X線分析の用途

  • 最先端素材の研究開発
  • 製造の現場での異物分析/故障解析
  • 有害元素のスクリーニング