X線分析顕微鏡 XGT-5200シリーズ

• Ø400μmプローブで有害元素管理の為のマッピング分析を実現！
  「Ø1.2mmでは大きい。もっと微小プローブで部品の有害元素マッピングが出来ないか？」というユーザの声にお応えしました。
  IC端子1本を狙い撃ちで分析できます。
• 基板など複合部品の有害元素管理から微小領域の不良解析まで1台で対応
• 高分解能・高計数率
  （当社従来機種XGT-5000との比較）
• 液体窒素不要

機能

■蛍光X線分析と透過X線像の観察が同時に可能
■RoHS/ELV/ハロゲンフリー対応
■世界最小 Ø10μmプローブ搭載
■微小部の膜厚測定（多層膜FPM）、Excelデータ管理シートによるデータの一元管理
　多点分析（連続1000点）
■容易な分析オペレーションと装置メンテナンス

Pbフリーハンダの分析

【X線照射径Ø1.2mm にてPbフリーハンダ基板を測定スペクトル】

Auワイヤのマッピング分析

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