MESA-50

卓上型蛍光X線分析装置

HORIBAのコア技術の1つである蛍光X線技術を活かしお客様のご要望にお応えした元素分析装置を開発しました。高感度ながら持ち運び可能なA4サイズで固体、液体、粉体の元素分析が非破壊で可能です。

 

事業セグメント: 科学
製造会社: HORIBA, Ltd.
  • A4サイズの省スペース設計

コンパクトなデザインで限られたスペースでも設置できます。
バッテリ内蔵型のため、通常の設置場所以外に持ち運んでの分析も可能です。

  • 省エネなのに高感度

小型X線管を採用した省エネ光学設計を実現。高性能検出器により、従来の卓上型蛍光X線分析装置と同等以上の感度と性能を備えています。

  • ルーチン測定が容易に

シンプルなソフトウェア設計でオペレーションも簡単。あらかじめ測定フロー・レシピが登録できるので、人為的ミスなく同じ条件での繰り返し測定が可能です。また測定後に目的元素の結果を自動的に表示・閾値判定する機能を搭載しています。

  • 広がるアプリケーション

固体、液体、粉体試料中に含まれる元素をAl (13)からU(92)まで測定できます。さらにX線光学系の改良により、塩素(Cl)の感度が向上したことも特長の一つです。また測定ポイントに応じて、3種類のX線照射径の切り換えができ、試料サイズに応じたカスタマイズにも対応します。

■分野別アプリケーション

金属

  • 貴金属判定
  • 金属中不純物分析

食品

  • 異物検査
  • 不純物検査
  • 添加物の濃度管理

電子部品

  • 膜厚測定
  • 電池材料中微量金属の検出

めっき・DLC

  • めっき液中元素の管理
  • 表面元素分析
  • 膜厚測定

有害元素

  • 各種有害元素検査
    (RoHS、ハロゲン、ヒ素)
  • 硫黄濃度管理

土壌

  • 重金属検査
    (カドミウム、鉛、水銀、
    クロム、臭素、ヒ素、塩素など)

■シンプルオペレーション

▶関連アプリケーションはこちら

測定原理エネルギー分散型蛍光X線分析法
測定元素Al(13)~U(92)
試料形状固体、液体、粉体
試料サイズ最大190(W)×225(D)×40(H)mm
試料観察CCDカメラ(カラー)
試料室雰囲気大気 
X線管最大50kV、0.2mA
X線照射サイズ1.2mm、3mm、7mm(自動切換)
フィルタ4種類(自動切換)
X線検出器SDD検出器
データ出力Microsoft Excel®、Word®およびPDFによる検査報告書出力
OSWindows®11Pro
言語日本語、英語、中国語
電源AC100-240 V±10%、50/60 Hz
消費電力0.1kVA以下(PC除く)
バッテリ最大約6時間(装置待機時)
装置質量約12kg
外形寸法208(W)×294(D)×205(H)mm
オプション樹脂標準試料、金属標準試料、多層膜FPM、As/Sb対応、試料セル、試料固定キット

Windows、Word、Excelは米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における商標または登録商標です。

ベンチトップ型蛍光X線分析装置を使用したPEMFCシート状触媒のPt担持密度測定
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蛍光X線分析装置MESA-50なら、プロトン交換膜燃料電池(PEMFC)の触媒層のPt 担持密度を高速、かつ非破壊で測定できます。
蛍光X線による重質油中の硫黄成分のインライン測定
蛍光X線による重質油中の硫黄成分のインライン測定
脱硫を目的とした触媒反応評価装置に蛍光X線検出機構を組み込むことにより、インラインで触媒反応後の重質油中の硫黄濃度の連続測定ができ、安全かつ効率的に重質油の触媒反応評価が可能になります。
インライン・オンライン蛍光X線分析システム
インライン・オンライン蛍光X線分析システム
蛍光X線分析装置MESA-50なら、希釈等の前処理不要で、めっき中の多元素を容易に測定することができます。また、X線検出部をめっき装置などに組み込むことにより、成分の濃度変化を連続的に測定可能です。
蛍光X線による鉄鋼スラグ中のセレン分析
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金属中の元素分析でよく用いられる湿式分析は手間や時間がかかりますが、蛍光X線分析装置MESA-50なら短時間で簡易に測定でき、スラグのリサイクルの可否を判断する閾値となる数十ppmのセレン含有量の測定が可能です。
現場での重油中バナジウム定量分析
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従来のICPによる分析では、前処理に大変手間がかかっていましたが、蛍光X線分析装置MESA-50なら、前処理不要で小型かつ測定時間が短いため、現場での迅速な測定が可能です。
Si ウェハ上の金属膜厚分析
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A4サイズのコンパクト設計の蛍光X線分析装置MESA-50なら、限られた分析スペースで簡易にSiウェハ上の金属膜厚を測定できます。

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