半導体セグメント - 半導体製造プロセスにおける制御とモニタリング、半導体と液晶デバイスの品質検査に高レベルのソリューションを提供するHORIBAは、プロセス改善や歩留まり向上、加工技術の微細化に貢献します。
信頼のテクノロジーパートナーをめざして。

進化を続ける半導体・FPD・太陽電池製造プロセス。周期的に変動するマーケットにおいて、より効率的で高度なプロセス管理システム構築のため、HORIBA は総合的な分析・制御技術でお応えします。

半導体製造プロセスモニタ

IN-SITUリアルタイムモニタリングによる薄膜プロセスの総合管理に。

ガス濃度モニタ

各種半導体・FPDプロセスガスの多用な分析に。

薬液濃度モニタ

ウェットプロセスにおける各種薬液の濃度管理に。

超純水モニタ

最終洗浄工程に用いられる超純水の高精度な水質監視に。

異物検査装置

半導体・FPD製造プロセスの異物検出、除去に。

薄膜計測装置

膜厚計測をはじめとする各種薄膜の評価・分析に。

マスフローコントローラ

精密な管理が要求されるガス・液体の流量計測・制御に。

液体材料気化供給システム

プロセスに応じた液体材料の高効率気化・供給に。

プレッシャーコントローラ

高純度ガス供給や活性ガスライン等の圧力制御に。

HORIBAの半導体セグメント

HORIBA グループは、半導体／ FPD ／太陽電池など、その微細な世界に鋭い視線を注ぎ、各分野のスペシャリストが独自のエンジニアリングを展開しています。