半導体/FPD/太陽電池製造プロセスの進化を導く
HORIBAの半導体セグメント

半導体をはじめ、医用、環境・分析、エンジン計測と、幅広い分野で独自の分析技術を発揮。半導体分野では、半導体製造ラインに組み込まれる各種プロセスモニタの提供を通して、より高性能な半導体の安定生産に貢献しています。

HORIBAグループの半導体部門の中核企業。半導体製造ラインに不可欠な重要デバイスで業界標準となっているマスフローコントローラや、液体材料気化制御機器において世界トップシェアを誇っています。

97年にグループの一員となったフランスに拠点を置く分光分析装置のトップメーカ。紫外線から可視光領域における分析技術に優れ、HORIBAの既存技術との融合により、全波長領域における分析技術を確立しています。

環境および計測分野、半導体洗浄分野のエキスパート。半導体分野では、ウェハのエッチングに使用される各種薬液の濃度測定装置や、ウェハ洗浄工程に欠かせない超純水の純度測定用比抵抗計などを提供しています。