真空加熱炉では、窒素、水素、ヘリウム、アルゴンなどのガスをマスフローコントローラを用いて導入します。真空、不活性ガス雰囲気にすることで酸化を防ぎ、加熱ムラを防ぐことができます。
HORIBAのマスフローコントローラは精度良くガス流量を制御することができるだけではなく、常温用・高温用マスフローコントローラ、また流量レンジも低流量から大流量まで対応可能なモデルなど豊富なラインナップを取り揃えており、プロセスにより最適な製品とソリューションを提案します。

また工業炉においては材質表面の酸化物を還元するために水分を添加するプロセスがあり、HORIBAの液体マスフローメータと液体材料気化供給装置が多く採用されています。液体材料や発生条件により、様々な気化ソリューションをご提案いたします。

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真空浸炭炉

鋼の表面層に炭素を侵入させ、炭素濃度を高め、焼き入れすることで耐摩耗性、高靭性を得ることができる真空浸炭炉においてHORIBAのマスフローコントローラはエチレン、水素などの流量を正確に制御します。
また、キャパシタンスマノメータで浸炭炉の排気圧を測定することにより浸炭の均一化、生産性向上に貢献します。

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関連製品

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マスフローコントローラ/メータ

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

デジタル/アナログ、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™、EtherCAT®と多様な通信方式と、10SCCMから1000SLMまでのワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。

マスフローモジュール CRITERION D500

差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能マスフローモジュール。自己診断機能を搭載。

高温対応デジタルマスフローコントローラ SEC-8000F/D/E シリーズ

15℃から120℃までの高温環境対応のデジタルマスフローコントローラ

液体材料気化システム

液体材料気化システム MI-1000/MV-1000 series

気液混合気化方式を採用した小型液体材料気化システム。液体材料の高効率気化を実現。

ダイレクトインジェクション VC Series

ノンキャリアタイプのコンパクト液体材料気化システム。TEOS気化システムのベストセラーモデル。

コンパクトベーキングシステム LSC Series

液体材料の気化システムのベストセラーモデル。半導体や光ファイバー生産設備をはじめ、幅広い生産設備に採用されています。

オートリフィルシステム LU series

液体材料を「安全に」「無駄なく」「迅速に」液体材料気化システムへ自動供給できるオートレフィルシステム

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA POCl3自動供給装置は、高い生産性、コスト削減、プロセス安定性、高い安全性、信頼性を実現しています。

液体マスフローコントローラ/メータ

液体微小デジタルマスフローメータ/コントローラ LF-F/LV-F series

冷却測定方式の流量センサを搭載した高精度液体デジタルマスフローコントローラ&メータ。マイクロリッターからの微少流量制御が可能。

キャパシタンスマノメータ VGシリーズ

コンパクト、オールメタル構造の自己温調型隔膜式真空計