MEMSデバイスは、各種センサーなど自動車分野や医療機器分などで幅広く使用されています。
プラズマ発光モニタEV-140はデバイス製造工程において、エッチングのエンドポイント検出を行い、製品の品質向上に貢献します。

※下記イメージ図より各種製品をご覧頂けます。

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関連製品

製品名をクリックすると、関連製品モデル一覧をご覧いただけます。

マスフローコントローラ

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

デジタル/アナログ、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™、EtherCAT®と多様な通信方式と、10SCCMから1000SLMまでのワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。

マスフローモジュール CRITERION D500

差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能マスフローモジュール。自己診断機能を搭載。

高温対応デジタルマスフローコントローラ SEC-8000F/D/E シリーズ

15℃から120℃までの高温環境対応のデジタルマスフローコントローラ

ウェハ裏面圧力制御システム

ウェハ裏面圧力制御システム GR-300 series

ウェハ裏面の温度制御に不可欠なガスの圧力制御に最適。ピエゾアクチュエーターバルブを搭載し、高安定性・高精度を実現しています。

プラズマ発光モニタ

プラズマ発光分析エンドポイントモニタ EV-140C

プラズマを利用した半導体薄膜プロセスにおいて、エンドポイントの検出またはプラズマのコンディション管理を行うための、発光分析方式のエンドポイントモニタです。新開発のアルゴリズム“Rupture Intensity”により微弱な信号変化から的確にエンドポイントを検出できます。微弱な発光変化を捉えるため、感度を大幅に改善。またノイズ耐性を向上させることにより、24時間稼動する製造ラインの過酷な環境化で高い安定動作を確保します。

非接触放射温度計

IT-470F-H Built-in type Non-Contact Infrared Thermometer

自社開発の高感度サーモパイルセンサを搭載し、長年の放射温度計開発のノウハウを結集して実現した、業界最高精度の装置搭載型放射温度計です。半導体・FPD製造など、高精度な温度測定が必要な分野で、プロセスの安定性向上に貢献します。