現在のIT社会の基幹を担う光ファイバ等の合成石英生産プロセスにおいて、HORIBAの液体材料気化システムが数多く活躍しています。光ファイバ製造におけるプリフォーム形成において POCl 3、SiCl 4、GeCl4はバブラー方式やベーキング方式を用いい気化し、供給されます。
HORIBAは安定・連続発生が可能な生産設備へ、各種気化方式の液体材料気化システムを提案しています。
またHORIBAのマスフローコントローラは光ファイバ製造工程におけるプラズマトーチのガス流量を正確に制御します。

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関連製品

製品名をクリックすると、関連製品モデル一覧をご覧いただけます。

マスフローコントローラ/メータ

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

デジタル/アナログ、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™、EtherCAT®と多様な通信方式と、10SCCMから1000SLMまでのワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

高温対応デジタルマスフローコントローラ SEC-8000F/D/E シリーズ

15℃から120℃までの高温環境対応のデジタルマスフローコントローラ

ベーキングシステム(液体材料気化システム)

コンパクトベーキングシステム LSC Series

液体材料の気化システムのベストセラーモデル。半導体や光ファイバー生産設備をはじめ、幅広い生産設備に採用されています。

インジェクションシステム(液体材料気化システム)

これらの製品を組み合わせ、お客様のご要望に合わせたインジェクションシステムを提案いたします

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

デジタル/アナログ、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™、EtherCAT®と多様な通信方式と、10SCCMから1000SLMまでのワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

液体微小デジタルマスフローメータ/コントローラ LF-F/LV-F series

冷却測定方式の流量センサを搭載した高精度液体デジタルマスフローコントローラ&メータ。マイクロリッターからの微少流量制御が可能。

液体材料気化システム MI-1000/MV-1000 series

気液混合気化方式を採用した小型液体材料気化システム。液体材料の高効率気化を実現。

バブリングシステム(液体材料気化システム)

これらの製品を組み合わせ、お客様のご要望に合わせたバブリングシステムを提案いたします

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

デジタル/アナログ、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™、EtherCAT®と多様な通信方式と、10SCCMから1000SLMまでのワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

デジタルオートプレッシャレギュレータ UR-Z700 シリーズ

高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを搭載したデジタルプレッシャレギュレータ。デジタル/アナログ通信モデル、デバイスネット通信モデルをラインナップ。

チャンバークリーニング終点検知用ガスモニタ IR-400 Series

プロセス装置に搭載し排ガス成分(SiF4、CF4)をリアルタイムにモニタリング可能。

ガス濃度モニタ IR-300 series

バブリング供給ライン用インラインガス濃度モニタ。材料ガスの安定供給に。

チャンバクリーニング終点検知用ガスモニタ IR-200

半導体製造の成膜プロセスは、微細加工の進歩に伴い、処理後のチャンバを常にクリーンな状態に保つことが、生産性向上に重要とされています。IR-200は、排ガス成分をリアルタイムに監視する成膜プロセス用チャンバークリーニング終点検知モニタです。ドライクリーニング終点検知の最適化、クリーニングガス・時間の削減、チャンバーダメージの低減による部品の長寿命化に貢献します。

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA POCl3自動供給システムは、高い生産性、コスト削減、プロセス安定性、高い安全性、信頼性を実現しています。

 

液体材料自動供給システム

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA POCl3自動供給システムは、高い生産性、コスト削減、プロセス安定性、高い安全性、信頼性を実現しています。

 

オートリフィルシステム LU series

液体材料を「安全に」「無駄なく」「迅速に」液体材料気化システムへ自動供給できるオートレフィルシステム