液体微小デジタルマスフローメータ/コントローラ LF-F/LV-F series

概要

冷却測定方式の質量流量センサーを搭載した液体用マスフローコントローラ&メータです。
冷却測定方式のセンサー搭載により、センサー部での加温を行わないため、低蒸気圧材料から純水など幅広い液体の流量計測制御が行えます。
流量制御部には、デッドボリュームが無いメタルダイヤフラム構造のバルブを搭載し、µリッター/分レベルの微量流量を正確に精度良く流量制御が行えます。専用の気化器との組み合わせにより、純水や液体材料の気化(ガス化)システムが構築できます。

特長

  • デジタル回路の採用により、高精度・高速応答が実現
  • マイクロリッターからの微小流量制御が可能
  • 低沸点液体材料、高粘度液体材料の精密流体制御が可能
  • ウルトラクリーン対応
  • RoHS指令対応

外形寸法

LF-F series

Model

H

T

W

I
*1

I
*2

I
*3

I
*4

I
*5

I
*6

A

B

C

D

E

LF-F20M-A

112

30

55

106

105

94

99

87

89

5

65

5

20

17

LF-F30M-A

112

30

55

106

105

94

99

87

89

5

65

5

20

17

LF-F40M-A

112

30

55

106

105

94

99

87

89

5

65

5

20

17

LF-F50M-A

112

30

55

106

105

94

99

87

89

5

65

5

20

17

LF-F60M-A

112

30

55

106

105

94

99

87

89

5

65

5

20

17

*1:1/4 VCR
*2:1/4 スウェージロック
*3:1/8 VCR
*4:1/8 スウェージロック
*5:1/16 スウェージロック
*6:1/16 Special

LV-F series

Model

H

T

W

I
*1

I
*2

I
*3

I
*4

I
*5

I
*6

A

B

C

D

E

LV-F20 (PO/MO)

112

30

86

137

136

125

130

118

120

5

96

5

20

17

LV-F30 (PO/MO)

112

30

86

137

136

125

130

118

120

5

96

5

20

17

LV-F40 (PO/MO)

112

30

86

137

136

125

130

118

120

5

96

5

20

17

LV-F50 (PO/MO)

112

30

86

137

136

125

130

118

120

5

96

5

20

17

LV-F60 (PO/MO)

112

30

86

137

136

125

130

118

120

5

96

5

20

17

*1:1/4 VCR
*2:1/4 スウェージロック
*3:1/8 VCR
*4:1/8 スウェージロック
*5:1/16 スウェージロック)
*6:1/16 Special

※外形寸法図面につきましては、別途ご依頼ください。
※記載している継手は、相当品を使用する場合があります。


製造会社: HORIBA STEC

仕様

名称

マスフローメータ

型式

LF-F20M-A

LF-F30M-A

LF-F40M-A

LF-F50M-A

LF-F60M-A

フルスケール流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

測定制御範囲

5〜100% F.S.

対象液種 *1

HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く

液体粘度 *2

Max. 0.1 Pa·s (100cp)

精度 *3

±1% F.S.

直線性 *3

±0.5% F.S.

繰返性 *3

±0.5% F.S.

応答精度

3秒以内 (T98)

2秒以内 (T98)

使用可能周囲温度 *4

5〜50℃ (推奨温度15℃〜45℃)

温度影響 スパン

±0.1%F.S./℃ Max±1%

動作差圧 *5

Max. 5MPa (マスフローメータ単体の場合) / 0.05〜0.3MPa (ピエゾバルブ制御の場合)

耐圧

10MPa (as flow meter)

圧力損失 *6

Max. 500Pa

流量設定信号

アナログ:0.25〜5 VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)
デジタル:RS485(F-Netプロトコール)

流量出力信号

アナログ:0〜5 VDC(最小負荷抵抗2kΩ)
デジタル:RS485(F-Netプロトコール)

駆動電源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

外部リーク規格

5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材質

SUS316L, Ni

標準継手

1/16 , 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ

1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ

1/4 スウエージロックタイプ, 1/4 VCR タイプ

名称

マスフローコントローラ

型式

LV-F20
(PO/MO)

LV-F30
(PO/MO)

LV-F40
(PO/MO)

LV-F50
(PO/MO)

LV-F60
(PO/MO)

フルスケール流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

測定制御範囲

5〜100% F.S.

対象液種 *1

HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く

液体粘度 *2

Max. 0.01 Pa·s (10cp)

精度 *3

±1% F.S.

直線性 *3

±0.5% F.S.

繰返性 *3

±0.5% F.S.

応答精度

3秒以内 (T98)

2秒以内 (T98)

使用可能周囲温度 *4

5〜50℃ (推奨温度15℃〜45℃)

温度影響 スパン

±0.1%F.S./℃ Max±1%

動作差圧 *5

0.05〜0.3MPa

耐圧

1MPa

圧力損失 *6

Max. 30kPa

流量設定信号

アナログ:0.25〜5 VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)
デジタル:RS485(F-Netプロトコール)

流量出力信号

アナログ:0〜5 VDC(最小負荷抵抗2kΩ)
デジタル:RS485(F-Netプロトコール)

駆動電源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

外部リーク規格

PO : 1×10-8Pa·m3/s (He)
MO : 5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材質

PO : SUS316L, Ni, PTFE, PFA  MO : SUS316L,Ni

標準継手

1/16 , 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ

1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ

1/4 スウエージロックタイプ, 1/4 VCR タイプ

*1:LF-F/LV-Fシリーズは、1種類の液体で流量校正されています(使用液体をあらかじめご指定ください。)
・固体物を含んだ液体は測定できません。
・混合液で混合比が変化する場合はあらかじめご相談ください。
・LV-Fシリーズは、対象液体に粒子等含まれる場合、0.2μm(Abs.)以下のフィルターを一次側(入口側)に取り付けてください
*2:LF-Fタイプでは流量レンジにより max, 0.1Pa·sまで対応可能です。粘度の高い液体についてはあらかじめご相談ください。
*3:SEMI E56-1296 準拠
*4:計測・制御を行う液体温度が、周囲温度より低い場合はその差を10℃以内、また液体温度が高い場合は3℃以内でのご使用をお願いします。
*5:粘度0.001Pa・sにおけるF.S.流量値での値です。
*6:粘度0.001Pa・sの液体をフルスケール流量で流した時の最大圧力損失です。

外形寸法図・他(単位:mm)

LF-F/LV-F Series外形寸法図

アプリケーション

幅広い産業でご使用いただいています

  • 各種生産装置への搭載:半導体、液晶、LED、太陽電池、パワー半導体、光ファイバー、コーティング
  • 一般産業:雰囲気ガス制御
  • 研究・開発:各種ガスセンサー性能評価機器、触媒性能評価機器、バイオ関連評価機器、燃焼器具性能評価機器
  • ラボ:各種実験用ガス流量制御機器

アクセサリ


制御ユニット PE-D20
コンパクトボディに使用頻度の高い機能を集約した制御ユニットです。前面パネルからの操作が行えます。
制御ユニット PE-D10
マスフローメータ専用のモニタユニットです。
専用電源 PEシリーズ
マスフローコントローラ・マスフローメータやオートプレッシャーレギュレータの駆動電源及びアナログ制御時の設定基準電圧:5VDCを供給するアクセサリです。
表示ユニット DU-103K・DU-102E
流量・圧力信号(0〜5VDC)をデジタル表示するユニットです。
信号ケーブル SCシリーズ
マスフローコントローラ/メータ(MFC/MFM)やオートプレッシャーレギュレータ(UR)と各種専用制御・駆動機器をコネクターにより接続する専用の信号ケーブルです。
変換アダプター CA-Eシリーズ
他社製MFCから弊社製MFCへの変更時にご使用頂く場合の変換アダプタです。