チャンバクリーニング終点検知用ガスモニタ IR-200

概要

半導体製造の成膜プロセスは、微細加工の進歩に伴い、処理後のチャンバを常にクリーンな状態に保つことが、生産性向上に重要とされています。IR-200は、排ガス成分をリアルタイムに監視する成膜プロセス用チャンバークリーニング終点検知モニタです。ドライクリーニング終点検知の最適化、クリーニングガス・時間の削減、チャンバーダメージの低減による部品の長寿命化に貢献します。

特長

  • コンパクト設計、排気ラインへの組込み
  • ガスセル加熱に対応(最大:150℃)

製造会社: HORIBA

仕様

型式

IR-200

測定ガス種

SiF4

測定濃度範囲

0~5000ppm(0~500Pa)

再現性

±1%F.S.

ガスセル光路長

30mm

応答速度

T90: 30秒以下

ガスセル耐圧

0.3MPa(G)

ガスセル加熱温度

150℃(最大)

接ガス部材質

SUS-316L、BaF2、FKM

リークレート

1×10-10Pa・m3/s

配管取合い

NW25フランジ

アナログ出力

DC 4-20mA

接点出力

ERR、High、Lowアラームの3チャンネル

接点入力

ゼロ校正用として、1チャンネル

電源

DC 24V、30W(最大)

外形寸法

センサユニット: 150×268×90mm

コントロールユニット: 96×130×48mm

質量

センサユニット:約4.5kg

コントロールユニット:約0.5kg

外形寸法図・他(単位:mm)

チャンバクリーニング終点検知用ガスモニタ IR-200CU 外形寸法図
チャンバクリーニング終点検知用ガスモニタ IR-200 外形寸法図