オートリフィルシステム LU series

概要

液体材料をベーキングシステム(LSC シリーズ)、インジェクションシステム(MI、MV、VCシリーズ)へ“自動的に”“安全に”“無駄無く”供給可能な液体材料の自動供給システムです。
安全規格:SEMI S2.S8.S14.CEマーキングを全てクリアーし、オペレートミス対策として危険が伴うタンク交換時の残液除去シーケンスの自動化も標準搭載しています。またメンテナンス性の高効率化を行いスループット向上のご提案を行えるモデルです。

特長

  • マザータンク交換時の安全性を確認する「蒸気圧監視による残液モニタ機能」を標準搭載 ※特許出願中
  • ロードセルによるマザータンク内の残材料重量の監視が可能 ※オプション
  • コンパクトサイズ、メンテナンス性の向上を図ったデザインを採用
  • 脱気モジュールを標準搭載し、インジェクション方式やベーキング方式等様々な気化システムへの供給が可能
  • 豊富な製作実績をベースに、コストバリューを実現した新型モデル
  • 安全規格:SEMI S2/S8/S14、CEマーキング対応
  • 操作性の向上:シーケンスの自動化によるミスオペレート防止機能、前面タッチパネルによる簡単な操作。
  • 安全性の向上:各種モニタリングデバイスによるトータルコントロール化と異常発生時の緊急自動停止機能を装備。
  • 配管デッドボリュームを極少化:集積ガスシステムを採用。
  • 複数台のベーキングシステム、インジェクションシステムへ自動供給が可能。

最適フローを採用

高効率ラインパージ性能
~タンク交換時間を短縮~

マザータンク交換時の配管内部(タンクバルブ~ラインバルブ)に残留する液体材料をマザータンクへと送り返します。そして配管内に微量に残留している液体材料を効率良く、確実に取り除くためにシンプルなガス系を採用しパージ効率を向上させると共に、残液の蒸気圧を確認する新機能:材料残留モニタを標準搭載しています。

蒸気圧監視モニタ機能とは(特許出願中)
配管内に残留している液体材料の除去にはサイクルパージを施し除去されますが、液体材料の残留濃度が「TLV値」を下回った状態であるか否かの判断は、従来経験的に蓄積された、お客様のノウハウとして判断されていました。新型LUA1000シリーズに搭載している「材料残留モニタ機能」は、配管内に残留する液体材料や残留ガスの状態を高性能な蒸気圧モニタで、配管内の状態を監視します。本体に搭載している安全監視回路により、タンク交換のタイミングを表示させ、最適時間をオペレータへお知らせすると共に安全性を向上させる機能です。

フローシート

液体材料気化システムをトータルにサポート

プロセスに応じた液体材料気化システム(インジェクション方式、ベーキング方式)へ、液体材料マザータンクから安全に迅速に液体材料を自動供給する総合的なシステムをご提供しています。

液体材料を“安全に”“無駄無く”“迅速に”気化システムへ自動に供給


製造会社: HORIBA STEC

仕様

LU-A1000 series

対応液種

TEOS、TMOB、TMOP、TEOP、BTBAS

供給方式

Heガスによる圧送

ガス供給圧力

圧送用 0.3〜0.6MPa(G)、パージ用 0.3〜0.6MPa(G)、OP.N2 0.6〜0.7MPa(G)

タンク

最大5ガロン(18.9L)容器まで搭載可能(製作範囲外)

動作

供給/停止は被供給系よりの外部信号による全自動

操作部表示内容

●圧力異常表示
●アラーム時、表示ホールド機能(手動リセット)
●液レベル表示
●シーケンス等

ガス取合

基本フロー参照

電源

AC 100〜240V 50/60Hz 300VA

電気取合

●AC 100〜240V ブレーカ取合 ●SIGNAL レセプタクル

外形寸法

外形寸法図参照

外形寸法図・他(単位:mm)

脱気モジュール