HORIBAのマスフローコントローラを組み合わせて模擬ガスを簡単に製作することが可能です。
模擬ガスは、センサーの出力試験や腐食試験等に使用できるほか、様々な用途があります。
たとえば、ガスセンサーの研究開発においては、ガス濃度変化、環境温度・湿度の変化に対するセンサーの出力特性を評価する必要があります。このセンサー評価を行う際は、任意のガス濃度・湿度を正確に制御・供給しなければなりません。HORIBAはガス制御にマスフローコントローラを、湿度制御に液体用マスフローメータや液体材料気化供給装置を組み合わることで、より正確なセンサー評価提供することができます。

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POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA POCl3自動供給装置は、高い生産性、コスト削減、プロセス安定性、高い安全性、信頼性を実現しています。