マスフローモジュール CRITERION D500

概要

差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能マスフローモジュール。PI機能、マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能、自己診断機能を備え、±1% S.P. の高精度と応答速度0.8秒を実現しています。

特長

  • PI機能 (Pressure Insensitive)
    急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。
  • マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能
    ユーザーサイドで「ガス種」、「フルスケール流量」、「供給圧力レンジ」の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。
  • 自己診断機能 G-Life (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation)
    短時間:3秒以下(typical)で自己診断が行え、スループットの向上に貢献します。
  • 高精度
    ±1% S.P.を実現
  • 高速応答
    応答速度:0.8秒以内
  • ワイドレンジ制御
    10 SCCM~50 SLMとワイドな制御範囲
  • 豊富な通信方式
    デジタル/アナログ通信モデル、DeviceNet™通信モデル、EtherCAT®通信モデルをラインナップ

製造会社: HORIBA STEC

測定原理

自己診断機能 G-LIFE (Gas Law Check of Integrated Flow restrictor Equation)

従来のMFCでは流量センサの経時的な変化によるガス流量の変化 を確認することは困難でした。D500は、本体を含むガス供給シス テムの変化を検知する機能:G-LIFEを搭載しています。 このG-LIFEは、流量制御バルブがクローズした後、任意の流量以 下になるまでの流量出力を積分し、圧力、時間より気体の状態方程 式を用いて内部容量を算出します。算出した内部容量と初期の内部 容量を比較することで、数秒以内に信頼性の高い再現性の検定を行 うことができます。D500は外部の基準器を設ける必要がなく、イ ンラインで流量の立下りを利用して、G-LIFEを実行することで、 初期状態からの変化を診断でき、プロセスの妥当性判断、トラブル 予知が行えるようになり、ウエハの仕損や装置のダウンタイムの低減が可能です。