厚さ１ｎｍの超薄膜分析装置

1999年11月25日 - 半導体生産ラインの評価分野に本格参入

日仏グループ企業による共同開発・生産・販売

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スクリーン、ＴＯＷＡと共同出資会社を設立

1999年3月16日 - 電子機器の中古装置のリサイクル事業を展開

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