質量流量計測：サーマルセンサー方式
「SEC-N100シリーズ」は高性能かつコストパフォーマンスを追及し、新たな通信方式を追加した新型マスフローコントローラです。半導体製造プロセスをはじめ、「太陽電池パネル」「燃料電池」「LED」の研究・製造用など、多くの産業分野で用いることができ、生産性の向上・省エネルギー化に貢献致します。
「SEC-N100シリーズ」は高性能かつコストパフォーマンスを追及し、新たな通信方式を追加した新型マスフローコントローラです。半導体製造プロセスをはじめ、「太陽電池パネル」「燃料電池」「LED」の研究・製造用など、多くの産業分野で用いることができ、生産性の向上・省エネルギー化に貢献致します。
