ガス流量

「SEC-N100シリーズ」は高性能かつコストパフォーマンスを追及し、新たな通信方式を追加した新型マスフローコントローラです。半導体製造プロセスをはじめ、「太陽電池パネル」「燃料電池」「LED」の研究・製造用など、多くの産業分野で用いることができ、生産性の向上・省エネルギー化に貢献致します。

RoHS指令対応オールインワンのハイエンドモデル

微少流量から大流量制御に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローコントローラ

一次側、二次側の圧力変動の影響を受けにくい、高安定な流量制御を実現したマスフローモジュール

実績あるサーマルセンサ搭載の進化モデル

高温環境対応、デジタルタイプのマスフローコントローラ

メタルO-リング対応の大流量モデル

サーマルバルブ搭載、マスフローコントローラのベーシックモデル

デジタル瞬時流量/積算流量計

高温環境対応、ピエゾバルブ搭載のマスフローコントローラ

デジタル瞬時表示／積算流量計

高温環境対応、サーマルバルブ搭載のマスフローコントローラ

デジタル表示瞬時流量計

ソレノイドバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

流量センサユニット

サーマルバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

大流量対応流量センサユニット