薬液濃度モニタ

HORIBAは半導体製造における洗浄、エッチングプロセスで使用されるSC-1、SC-2、SPM、HFなどの各種薬液濃度をリアルタイムで高精度に、安定性よく測定する薬液濃度モニタを提供しています。
HORIBAの薬液濃度モニタは混合液の各成分濃度を最大8成分までリアルタイム測定できるモデル(CS-700)や、光ファイバを採用したインライン・マルチモニタリングモデル(CS-600F, CS-100F1シリーズ)、高安定性を誇るベンチトップタイプ(CS-100シリーズ)など様々なタイプをラインナップしています。
また、混合液だけでなく単成分の薬液濃度を測定するモデルも取り揃えています。

薬液濃度モニタ

薬液濃度モニタ CS-700

半導体製造工程で使用される混合液の各成分濃度を最大8成分、リアルタイムに高精度測定します。

CS-600F

プロセスの要求に応える[高温ダイレクト測定][長期安定性能][コンパクトボディ]で、洗浄工程の効率向上に貢献。

光ファイバ式薬液濃度モニタ CS-100F1シリーズ

実現! インライン・マルチモニタリング。

マルチバス、ワンバス、枚葉各方式の洗浄装置に対応。

Chemical Solution Concentration Monitor CS-100 Series

テクスチャー構造形成のプロセスの最適化に貢献します。

HF濃度モニタ

低濃度HF/HCl/NH3濃度モニタ HF-960M 製品画像

ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適、低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアを高精度に測定

フッ酸濃度モニタ HF-960H 製品写真

【新製品】

ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適な、低濃度から高濃度までのフッ酸・塩酸を高精度に測定するHF/HCl濃度モニタ

半導体製造プロセス用 HF濃度計 HF-960EM

半導体プロセスの微細化にマッチした接液部完全PFAセンサ対応のHF濃度計。0 - 50%の測定レンジを網羅可能。

2ch HF濃度計 HF-SP-CU

2ch HF濃度計 HF-SP-CUは2chの入力をもつHF濃度計です。半導体プロセスなどで使用される高精度なHF濃度のモニタリングを1台で2chの測定を行うことができます。

高精度センサ FS-07F-T3.5との組合せ使用。

クエン酸濃度モニタ

クエン酸濃度モニタ HE-960CA

耐薬センサを採用した高精度、ワイドレンジクエン酸濃度モニタ。測定レンジ: 0 - 2%(濃度)

KOH濃度モニタ

KOH濃度モニタ HE-960H-KOH

耐薬センサを採用した高精度、ワイドレンジKOH濃度モニタ。測定範囲:0 - 20%(濃度)

TMAH濃度モニタ

高精度TMAH濃度モニタ HE-960H-TM-S

耐薬センサを採用した高精度TMAH濃度モニタ。測定濃度範囲 0 - 3%。

TMAH濃度モニタ HE-960H-TM 製品画像

【新製品】

フォトレジスト現像液の主成分TMAH濃度を耐薬性の高いカーボンセンサと組み合わせてワイドレンジを高精度に計測

溶存オゾン濃度モニタ

HZ-960

溶存オゾンモニタ HZ-960はPost Cleaning、FEOL プロセスでのクリーニング処理、高濃度オゾン水によるレジスト剥離処理、など半導体Wet処理プロセスで使用されるオゾン水の溶存オゾン濃度モニタです。

HZ-960HPO-M

過酸化水素水モニタ HZ-960HPO-Mは半導体や太陽電池の洗浄プロセスにおいてパーテクル除去や不純物金属イオン除去に使用される過酸化水素水の濃度をモニタリングします。

溶存酸素濃度モニタ

HF中DOモニタ /純水中DOモニタ HD-960L

HF中の超低濃度溶存酸素濃度が測定可能。ug/Lオーダーからmg/Lオーダーまで3つの測定レンジの自動切り替え装置搭載。少量サンプルも測定できます。耐薬センサ対応。

リン酸濃度モニタ

リン酸濃度モニタ HE-960H-PA

リン酸濃度モニタ HE-960H-PA は半導体エッチングプロセスで使用されるリン酸(リン酸単液)(濃度:80-90wt% 温度:20-100℃以内)の濃度をモニタリングすることができます。

比抵抗計

高比抵抗計 HE-Z-100T

溶媒管理により冷却器(チラー)などの設備メンテナンス性が向上。冷媒・温調溶媒等の高絶縁液管理に最適。

製品画像

HE-960R-GCは、ガラスカーボンをセンサに用いた比抵抗計です。

2チャンネル比抵抗計 HE-960RW-GC

2箇所の比抵抗を同時測定・同時出力 耐薬品性センサ採用

工業用比抵抗計 HE-480R(W)

高精度な温度補償性能を持つコンパクト比抵抗計。様々な用途にお使いいただけます。測定範囲は0 - 100.0 MΩ・cm

導電率計

2ch 導電率計 HE-960CW-K

HE-960CW-Kは2chの入力を持つ導電率計です。対応センサはセル定数、1.0に対応。特にガラスカーボン導電率センサ FL-5L-GCとの組み合わせで薬液濃度の管理にご使用いただけます。

カーボンセンサ導電率計 低濃度タイプ HE-480C-GC

半導体ウェットプロセスの薬液測定および純水回収に最適

カーボンセンサ導電率計 高濃度タイプ HE-960HC 指示変換機写真

【新製品】

半導体製造やFPD製造工程の薬液・排液管理に最適な導電率計。耐薬性の高いカーボンセンサと組み合わせワイドレンジを高精度に計測。

カーボンセンサ導電率計(低濃度タイプ) HE-960LC

低濃度タイプのカーボンセンサ導電率計。耐薬品性に優れた2極式カーボンセンサを採用。測定濃度範囲:0 - 1000 μS/cm, 0 - 10000 μS/cm (Sensor FS-07F)

フロースルー温度センサ

温度センサ 薬液用 ES-PT100-GC

半導体プロセスにおける薬液温度測定用に開発された耐薬品性能の高い温度センサです。

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