マスフローコントローラ&メータ

HORIBAはお客様のニーズにマッチする様々なタイプのマスフローコントローラを取り揃えています。
主要パーツであるコントロールバルブはサーマルタイプ、ソレノイドタイプ、ピエゾバルブよりお選びいただけます。(*1)
通信形態もアナログ・デジタルはもちろん、 デバイスネット™、PROFIBUS™、EtherCAT®、CC-Link®タイプもご使用いただけます。 (*1)
流量レンジも微小流量から大流量まで対応できるモデルをラインナップしています。

*1 製品モデルによる

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>>マスフローメータはこちらからご覧ください。

最先端モデル

マスフローモジュール CRITERION D500

差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能マスフローモジュール。自己診断機能を搭載。

ハイパフォーマンスモデル

Pressure Insensitive Mass Flow Controller  SEC-Z700X

マルチディスプレイ機能、PI機能を搭載した高性能サーマル式マスフローモジュール。レギュレータ、圧力計、フィルタが不要で、最先端半導体のシンプル・軽量なガスラインを構築。

ベストセラーモデル

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

オールマイティモデル(デジタル/アナログ通信)

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

デジタル/アナログ、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™、EtherCAT®と多様な通信方式と、10SCCMから1000SLMまでのワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。

防塵・防滴対応マスフローコントローラ red-y industrial Series

IP67、NEMA6、ATEX対応の防塵・防滴マスフローコントローラ。デジタル通信標準、各種アナログ通信にも対応。1:50のワイドレンジコントロール。

オールマイティモデル (アナログ通信)

Mass Flow Controller SEC-E Series

信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。

Mass Flow Controller SEC-400 Series

サーマルバルブ搭載の高安定性アナログマスフローコントローラ

コンパクトモデル

小型流量コントローラ MF-Cシリーズ

MEMS技術を用いた小型流量センサ採用の表示・設定一体、マルチ機能搭載のコンパクトマスフローコントローラ。センサ、比例制御機能、バルブ機能全てが高性能。

 

高温対応モデル

高温対応デジタルマスフローコントローラ SEC-8000F/D/E シリーズ

15℃から120℃までの高温環境対応のデジタルマスフローコントローラ

専用アクセサリー

multi-function control unit

プログラム設定機能、プリセット機能に加え、積算機能を付帯した多機能制御ユニットです。前面パネルからの操作が簡単に行えます。

制御ユニット PE-D20

コンパクトボディに使用頻度の高い機能を集約した制御ユニットです。前面パネルからの操作が行えます。

制御ユニット PE-D10

マスフローメータ専用のモニタユニットです。

専用電源 PEシリーズ

マスフローコントローラ・マスフローメータやオートプレッシャーレギュレータの駆動電源及びアナログ制御時の設定基準電圧:5VDCを供給するアクセサリです。

表示ユニット DU-103K・DU-102E

流量・圧力信号(0〜5VDC)をデジタル表示するユニットです。

 

信号ケーブル SCシリーズ

マスフローコントローラ/メータ(MFC/MFM)やオートプレッシャーレギュレータ(UR)と各種専用制御・駆動機器をコネクターにより接続する専用の信号ケーブルです。

 

変換アダプター CA-Eシリーズ

他社製MFCから弊社製MFCへの変更時にご使用頂く場合の変換アダプタです。

設定ユニット SU-502EA・SU-503ED

流量・圧力信号(0〜5VDC)を制御機器へ出力するユニットです。

マスフローチェッカー MFT-20

マスフローコントローラに不具合が生じている場合は、その原因追求の為にMFCのシステムを構成しているSEC・電源・表示器・設定器・ケーブル等の異常やSEC自身の不具合原因を発見しなければなりません。MFT-20では、SECを駆動、入出力している電圧をモニタしたり、MFT-20により制御する事でSECが正常であるかをチェックする事ができます。従ってSECを装置配管から取り外す前にすみやかにSECのトラブルや電源等のトラブルが確認できます。また、本体に内蔵しているポテンションメータによりSECを制御する事も可能です。

デバイスネットはOpen DeviceNet Vender Associationの商標です。
PROFIBUSはPROFIBUSはプロフィバス協会の商標です。
EtherCATはBeckhoff Automation GmbH, Germanyの登録商標です。
CC-Linkは三菱電機株式会社の登録商標であり、CC-Link協会が管理する商標です。

* Devicenet is a trademark of Open DeviceNet Vender Association.
   PROFIBUS is a trademark of PROFIBUS International.
   EtherCAT is a trademark of Beckhoff Automation GmbH, Germany. 

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

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