マスフローコントローラ&メータ
HORIBAはお客様のニーズにマッチする様々なタイプのマスフローコントローラを取り揃えています。
主要パーツであるコントロールバルブはサーマルタイプ、ソレノイドタイプ、ピエゾバルブよりお選びいただけます。(*1)
通信形態もアナログ・デジタルはもちろん、 デバイスネット™、PROFIBUS™、EtherCAT®、CC-Link®タイプもご使用いただけます。 (*1)
流量レンジも微小流量から大流量まで対応できるモデルをラインナップしています。
*1 製品モデルによる
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デジタルマスフローモジュール CRITERIONについてもっと知りたい方はこちら
>>マスフローメータはこちらからご覧ください。
マルチディスプレイ機能、PI機能を搭載した高性能サーマル式マスフローモジュール。レギュレータ、圧力計、フィルタが不要で、最先端半導体のシンプル・軽量なガスラインを構築。
マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。
IP67、NEMA6、ATEX対応の防塵・防滴マスフローコントローラ。デジタル通信標準、各種アナログ通信にも対応。1:50のワイドレンジコントロール。
信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。
マスフローコントローラに不具合が生じている場合は、その原因追求の為にMFCのシステムを構成しているSEC・電源・表示器・設定器・ケーブル等の異常やSEC自身の不具合原因を発見しなければなりません。MFT-20では、SECを駆動、入出力している電圧をモニタしたり、MFT-20により制御する事でSECが正常であるかをチェックする事ができます。従ってSECを装置配管から取り外す前にすみやかにSECのトラブルや電源等のトラブルが確認できます。また、本体に内蔵しているポテンションメータによりSECを制御する事も可能です。
デバイスネットはOpen DeviceNet Vender Associationの商標です。
PROFIBUSはPROFIBUSはプロフィバス協会の商標です。
EtherCATはBeckhoff Automation GmbH, Germanyの登録商標です。
CC-Linkは三菱電機株式会社の登録商標であり、CC-Link協会が管理する商標です。
* Devicenet is a trademark of Open DeviceNet Vender Association.
PROFIBUS is a trademark of PROFIBUS International.
EtherCAT is a trademark of Beckhoff Automation GmbH, Germany.