異物検査装置

HORIBAは半導体製造リソグラフィプロセス向け異物検査装置を提供しており、高い実績を誇っています。
HORIBAの異物検査装置はブランクマスクやレティクル/マスク上の異物を高スループットで効率的に測定。異物検査装置と合わせてご使用いただける自動異物除去装置もラインナップしています。

ブランクマスク異物検査装置

ブランクマスク異物検査装置PR-PD2BLI

量産ブランクマスクの高速・高精度異物検査装置

レティクル/マスク異物検査装置

PR-PD2HR Particle detection system

先端マスク検査の大幅コストダウンを実現

高い稼働率と長期にわたる安定性を誇るレティクル・マスク異物検査装置PDシリーズ。その高性能機能を継承し、さらにS/N比を3倍以上向上、実用感度を大幅に向上させて、シリーズ最新機種HORIBA...

HORIBA's PR-PD2 Particle Detection System

高スループットで効率的な異物検査・測定を実現。高い稼働率と長期にわたる安定性など、数々の高性能・高機能で多くの半導体製造現場で高く評価されているHORIBAのレティクル/マスク異物検査装置PDシリーズ。長期安定稼動する搬送系、高スループットなどの高性能機能を継承し、さらに独自に開発した信号処理方式により、シリーズ最高感度、最小0.35μmの微細異物検出を可能にしたのが、このレティクル/マスク異物検査装置PR-PD2です。各種のステッパーケースに対応する最大...

PR-PD5 Particle detection system

PDシリーズの高性能を継承しながら、一層の小型化により、優れたコストパフォーマンスを実現。レティクルストッカやステッパ、洗浄装置などへの組み込みも可能です。

レティクル反転機構0.5ー50μm選択可能検査系1系統装置内蔵/組合せ型

Compact Reticle/Mask Particle Detection System PR-PD3

高い稼働率と長期にわたる安定性で、多くの半導体製造現場から高く評価されているHORIBAの異物検査装置PDシリーズ。そのシンプルで長期安定稼働する搬送系、高スループット、信頼の光学系、さらに誤検出対策機能など高性能の数々を継承し、コンパクトにパッケージングしたのが、レティクル/マスク異物検査装置PR-PD3です。従来機(PR-PD2)と比べて約1/2という小型化を実現するとともに、低ランニングコストを追求。そして0.5μmの検出感度による広い汎用性。レティ...

レティクル/マスク自動異物除去装置

パーティクルリムーバ RP-1

ブローと真空吸引で異物を自動除去レティクル/マスクに付着した異物をAir(又はN2)ブローと真空吸引により自動除去します。露光前のルーチン運用で、毎回異物を除去する事により、ペリクルの貼り替えやマスクの洗浄周期を延ばし、ランニングコスト低減に寄与します。

ガラス面上異物除去時(20μmホウ珪酸ビーズ除去率データ)

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株式会社 堀場製作所
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