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圧力制御機器

ガス供給システムの高性能化・コンパクト化へのご提案として、高性能圧力センサと高分解能ピエゾバルブ、デジタル制御機能を搭載したラインレギュレータや腐食性ガスに対応した排気圧コントローラなどをラインアップしています。

GR-511F
GR-511F

ウェハ裏面圧力制御システム

GR-300 Series
GR-300 Series

ウェハ裏面圧力制御システム

UR-Z700 Series
UR-Z700 Series

デジタルオートプレッシャレギュレータ

PV Series
PV Series

ピエゾバルブ

EC Series
EC Series

排気圧コントローラ

構成例・用途例