デジタルオートプレッシャレギュレータ UR-Z700 シリーズ

概要

高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを採用したデジタル制御回路搭載のオートプレッシャレギュレータです。
オールメタル構造(接ガス部)、デッドボリュームフリーの構造を採用し、腐食性ガスや低蒸気圧ガス等の安定した圧力制御が行えます。外部信号による遠隔操作が可能で、総合的な性能評価を必要とするガスセンサーや耐圧評価システム等の総合的なガスの制御を必要とするシステムへの搭載に最適です。

特長

  • ピエゾバルブと圧力センサを搭載し、瞬時の圧力変造においても安定した圧力制御が可能
  • 高速応答:0.5秒以内
  • 取付姿勢が自由はフリーマウントデザイン
  • 一次側制御タイプ(-Bタイプ)、二次側制御タイプをラインアップ
  • ゲージ圧タイプ、絶対圧タイプより選択可能
  • デジタル/アナログ通信、DeviceNet™通信対応
  • RoHS指令対応
  • オールメタル構造のウルトラクリーン対応モデル

構成例・用途例

オートプレッシャレギュレータ UR-7300/Z700 series


製造会社: HORIBA STEC

外形寸法図・他(単位:mm)

UR-Z700 Series外形寸法図

アプリケーション

幅広い産業でご使用いただいています

  • 各種生産装置への搭載:半導体、液晶、LED、太陽電池、パワー半導体、光ファイバー、コーティング
  • 一般産業:バーナーガス制御、雰囲気ガス制御、混合ガス発生、通気量計測
  • 研究・開発:各種ガスセンサー性能評価機器、触媒性能評価機器、バイオ関連評価機器、燃焼器具性能評価機器
  • ラボ:各種実験用ガス流量制御機器、サンプリングガス流量制御機器

アクセサリ


制御ユニット PE-D20
コンパクトボディに使用頻度の高い機能を集約した制御ユニットです。前面パネルからの操作が行えます。
制御ユニット PE-D10
マスフローメータ専用のモニタユニットです。
専用電源 PEシリーズ
マスフローコントローラ・マスフローメータやオートプレッシャーレギュレータの駆動電源及びアナログ制御時の設定基準電圧:5VDCを供給するアクセサリです。
表示ユニット DU-103K・DU-102E
流量・圧力信号(0〜5VDC)をデジタル表示するユニットです。
信号ケーブル SCシリーズ
マスフローコントローラ/メータ(MFC/MFM)やオートプレッシャーレギュレータ(UR)と各種専用制御・駆動機器をコネクターにより接続する専用の信号ケーブルです。
変換アダプター CA-Eシリーズ
他社製MFCから弊社製MFCへの変更時にご使用頂く場合の変換アダプタです。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。

株式会社堀場エステック
営業本部

075-693-2312

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