排気圧コントローラ EC series

概要

チャンバーの内部圧力を任意の値に一定に制御する排気圧コントローラです。高分解能なステッピングモーターと独自構造のバタフライバルブにより高速応答・高分解能な性能を実現しています。

特長

  • 高真空対応
    ステンレスボディを採用
  • 耐腐食性対応
    PTFE(ふっ素樹脂)採用モデルもラインアップ
  • 排気圧制御システムを構築
    微差圧センサ(EMTGC1B-A)
    コントローラ(PCU-3000)をラインアップ
  • RoHS指令対応

※本製品(EC-5202)は、外国為替及び外国貿易法上の規制された貨物です。海外に輸出される場合は、経済産業大臣の許可が必要となります。


製造会社: HORIBA STEC

仕様

EC-5104

取合いサイズ

NW40

接ガス部材質

SUS-316L、バイトン®

コンダクタンス
(真空領域)

0.4 〜 80 L/s

100mmH2Oでの出流れ
(フルクローズ)

20 L/min

 

EC-5105

取合いサイズ

NW50

接ガス部材質

SUS-316L、バイトン®

コンダクタンス
(真空領域)

0.6 〜 200 L/s

100mmH2Oでの出流れ
(フルクローズ)

25 L/min

EC-5202

取合いサイズ

25mmテフロン®継手
1インチテフロン®継手

接ガス部材質

PTFE、PEEK、バイトン®

コンダクタンス
(真空領域)

0.4 〜 80 L/s

100mmH2Oでの出流れ
(フルクローズ)

3 L/min

外形寸法図・他(単位:mm)

Dimensions of EC-5000 Series

アプリケーション

  • 拡散プロセスの歩留り向上、腐食ガスリークの防止、大気からのコンタミネーションの低減
  • エッチャーやCVDでのチャンバ圧力制御、スピンコーターの排気量制御

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。

株式会社堀場エステック
営業本部

075-693-2312