ピエゾバルブ PV series

概要

外部機器からの制御信号を用いて、ガス流量または圧力制御するための高速応答バルブです。メタルダイヤフラム、メタルO-リング採用。接ガス部はオールメタル構造でウルトラクリーン対応です。ガスだけでなく、液体の流体制御も可能。

特長

  • ウルトラクリーン対応:オールメタル構造を採用
  • 微小流量から大流量までの流体制御が可能
  • 高温対応モデルラインアップ:PV-1000S/2000Sタイプ
  • RoHS指令適合

製造会社: HORIBA STEC

仕様

PV-1000

流量レンジ

1/5/100/200/500 CCM
1/2/5 LM (入口大気圧、出口真空、N2換算)

流量制御範囲

フルスケールの2〜100%

バルブ方式

ノーマルオープン/クローズ型

制御入力1

0〜5VDC

応答性

0.5秒以内

使用温度

0〜50℃

使用圧力

MAX.300kPa

耐圧

1MPa

リーク規格

5×10-12Pa・m3(He)

PV-2000

流量レンジ

10/20 LM (入口大気圧、出口真空、N2換算)

流量制御範囲

フルスケールの2〜100%

バルブ方式

ノーマルオープン/クローズ型

制御入力1

0〜5VDC

応答性

0.5秒以内

使用温度

0〜50℃

使用圧力

MAX.300kPa

耐圧

1MPa

リーク規格

5×10-12Pa・m3(He)

外形寸法図・他(単位:mm)

Dimensions of PV Series

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