インライン型溶存オゾンモニタ OZ-96i
概要
半導体製造工程のオゾン水濃度管理に最適
半導体製造プロセスにおける洗浄、酸化膜形成等に使用されるオゾン水濃度を測定します。主配管に直接取り付けて、連続測定ができるオゾン水濃度モニタです。測定のためのバイパスラインは必要ありません。オゾン発生装置やUse Pointにより近い測定を可能にします。
特長
- ライン内への取付可能
- コンパクトなセンササイズ
- DC24V電源
- 接液部材質にPFA/石英ガラス/PTFEを使用
製造会社: HORIBA Advanced Techno
仕様
形式 | 変換器：OZ-96i |
|---|---|
測定対象 | 純水中のオゾン濃度 |
電源 | DC24V 15W |
変換器構造 | パネル取付け：DIN96×96 屋内設置形 |
外形寸法 | 変換器：96（H）×96（W）×145（D） mm |
質量 | 変換器：約700g 検出器：約2kg |
※本仕様書に記載の内容は、改良のために予告なく変更することがあります。
