デジタルマスフローコントローラ　SEC-N100 series

各種通信方式でお客様のご用途に合うモデルをラインアップ

 ※専用電源PE seriesをラインアップしております。

微少流量から大流量制御まで対応 

■流量制御範囲はフルスケール流量値の2%から行えます。

流量精度の向上

■セットポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載

多項式近似曲線による高度なデジタル流量補正を施す事により、全流量域における流量精度の向上を実現しました。また多種のプロセスガス流量を高精度流量計測システムを用いて計測し、プロセスガス流量精度の向上を図っています。　　

全流量域にわたる高速応答

 ■新開発のVariable PIDアルゴリズムを搭載：フルレンジ1秒以内

全流量域にわたる高速応答を可能とするVariable PIDアルゴリズム（特許出願中）を新たに搭載しました。Variable PIDアルゴリズムとは、設定流量に応じた最適PID係数を用いる制御方式です。フルスケール流量・ガス種の変更後も高速応答を実現しています。ハイエンドモデル：SEC-Z500Xシリーズに標準搭載し半導体プロセスにおいて高い評価を得ています。

マルチガス・マルチレンジ機能を搭載

■専用ソフトウェアを用い簡単操作で仕様変更が可能に

新機能のマルチガス・マルチレンジ機能は、お客様ご自身でマスフローコントローラ(MFC)の使用ガスや流量レンジの仕様を変更できます。

コストパフォーマンスを最優先した新アイデア設計を採用

■ウルトラクリーン仕様をご要望のお客様はSEC-Z500Xシリーズをご検討ください。

■製品の仕様の記載内容に変更が生じることがなく、生産性向上のための使用部品・生産手法などの変更は、お客様へ通知せずに随時行っています。あらかじめご了解ください。