FTIRガス分析計 FG-100Aシリーズ
概要
分析用途をさらに広げるコンパクトサイズ。
FG-100Aシリーズは、地球温暖化防止のため削減が求められる温室効果ガス、PFCsをはじめ、各種半導体・FPDプロセスガスなどの多様な分析を可能にしたFTIRガス分析計です。
現場での効率的なガス計測を追求して、大幅なコンパクト化を実現するとともにシングルセルタイプとデュアルセルタイプの2種類をご用意。測定ポイントへの設置・移動が容易な上、分析用途も多彩です。
半導体・FPDプロセスガス分析に最適なソフトウェア、豊富なライブラリ、そして移動可能なサンプリングユニットを含め、トータルシステムとしてご提案します。
50年にわたるHORIBAの環境関連ガス分析の技術とノウハウが、半導体・FPDプロセスのガスモニタリングをサポートします。
特長
- 0.6秒間隔でのデータサンプリングが可能。
測定の際、「速度優先モード」を選択すると、1秒以下の周期にて、データサンプリングが可能です。
短時間で終了するレシピや、条件変更時の排ガス挙動を詳細に確認する場合に有効です。
※測定条件により異なります。 - 圧倒的な使いやすさを誇るコンパクト設計。
業界最小のコンパクトサイズを実現。現場での設置・移動が容易で、分析用途をさらに広げます。 - シングルセルとデュアルセルの2タイプ。
シングルセルタイプとデュアルセルタイプの2種類をご用意。デュアルセルタイプは、除害装置のIN／OUTの2点など測定濃度が大幅に異なる測定点での連続測定がワンタッチ切換えで可能。セルの交換が不要で、効率的なガス分析を行なうことができます。 - 測定対象のガス濃度に合わせて5種類のセル長をラインアップ。
セル長は5種類(0.01、0.1、0.8、2.4、10m)をラインアップ。簡単なセルユニットの交換で、測定対象ガス濃度に応じたセル長による高精度測定を可能にしました。また、プロセスチャンバ直後の減圧下でのガス計測に対応するセルもご用意しています。 - 連続測定に最適な液体窒素レス検出器。
液体窒素不要の電子冷却式MCT検出器を採用。クリーンルーム内での煩雑な液体窒素補給が不要となり、スムーズな連続測定を実現します。 - 充実したライブラリ。
ライブラリとして、半導体・FPDプロセスに対応した38種以上のスペクトルと検量線を標準装備。さらに、260種以上のスペクトルをラインアップし、効率的なガス分析をサポートします。
BCl3 | CF4 | CO | OF2 | TEOS |
C2F4 | CH2F2 | H2O | SF6 | TMB |
C2F6 | CH3F | HF | SiCl2H2 | WF6 |
C3F6 | CH4 | N2O | SiF4 | C2H2F2 |
C3F8 | CHF3 | NF3 | SiH4 | C2H3F |
C4F6 | ClF3 | NH3 | SO2F2 | C2HF3 |
C4F8 | CO2 | NO2 | SO2 |
|
C5F8 | COF2 | NO | SOF2 |
|
- サブppmオーダの高感度測定。
長光路セルの採用により、サブppmオーダの低濃度ガス測定が可能です。
●測定対象成分と検出下限例
成分 | 検出下限 |
|---|---|
CF4 | 0.003 ppm |
C2F6 | 0.005 ppm |
C3F8 | 0.005 ppm |
C4F8 | 0.01 ppm |
CHF3 | 0.009 ppm |
NF3 | 0.02 ppm |
SF6 | 0.003 ppm |
HF | 0.25 ppm |
SiF4 | 0.006 ppm |
NH3 | 0.05 ppm |
NO2 | 0.04 ppm |
CO | 0.3 ppm |
測定条件：セル光路長10m、液体窒素冷却式MCT
※測定条件の最適化により、さらに高感度化が可能です。
- ユーザフレンドリーなソフトウエア。
リアルタイム分析に最適な、濃度トレンド表示機能、スペクトルの自動保存機能、濃度ログファイルの自動保存機能など、様々な機能を標準搭載しています。また、検量線作成手順は、ナビゲーション機能によりサポートされ、初めての方でも多変量解析による検量線作成が可能です。操作は、Windows仕様のノートパソコンで行えます。
※Windowsは、米国マイクロソフト社の米国および、その他の国における登録商標です。
コントロールユニット
クリーンルーム内の雰囲気ガスモニタリングに
コントロールユニット FGC-10
サブppmオーダの低濃度ガスに対応できるFG-100Aシリーズは、濃度表示機能や出力機能を持つコントロールユニットと組み合わせることにより、パソコンを使わずにクリーンルーム内の連続高感度モニタリングが可能です。サンプリングラインの切り替えによる多点モニタリングなど、様々なシステム提案が可能です。FG-100Aシリーズによる連続高感度モニタリングで、半導体・FPD産業におけるEHS(環境・健康・安全)に貢献します。
専用サンプリングユニットをご用意。
半導体・FPDプロセスに最適な専用サンプリングユニットをご用意。サンプルガスの導入が簡単に行なえます。FG-100Aシリーズとのシステムアップ用に、設置・移動が容易なキャスター付の省スペース設計になっています。
サンプリングユニット(オプション)とFG-100Aシリーズの組み合わせ例
用途例
幅広い用途に活用可能。
- CVDプロセス(チャンバクリーニングなど)や、ドライエッチングプロセスの最適化に
- PFC処理(回収、分解)装置の研究開発に
- 除害装置の性能確認用に
- ガス生産工程における品質管理に
- 代替PFCガスの開発に
- クリーンルーム内の雰囲気ガスモニタリングに
- MOCVD用液体・固体材料ガスの濃度モニタリングに
- CVD材料の熱分解特性の評価に
シングルセルタイプ
デュアルセルタイプ
フロー図
(シングルセルタイプ)
※干渉計のN2パージ仕様もご用意しています。
測定例
■Pb(C11H19O2)2 原料ボトル交換前後のガススペクトル
■Pb(C11H19O2)2 原料ボトル交換前後のガス濃度モニタリング
■CVDチャンバクリーニング排ガス分析
CVDチャンバの排気ライン(減圧下)にてサンプリング。ガス濃度モニタにより、チャンバクリーニングのエンドポイントの判定に利用できます。クリーニング条件の最適化により、スループットの向上やガス使用量の削減等の効果が得られます。
■ドライエッチング排ガス測定(C2F6)
■除害装置(プラズマ式)排ガス測定
価格
価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。
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製造会社: HORIBA
仕様
基本型式名 | FG-110A | |
|---|---|---|
測定原理 | FTIR法 | |
検出器 | (FG-110A) 液体窒素冷却式MCT | |
測定波数範囲 | (FG-110A) 標準：5000〜700cm-1 | |
セル光路長 | シングルセル：0.01m(6.2mL)、0.1m(62mL)、0.8m(220mL)、 | |
セル窓材質 | 標準：BaF2 オプション：ZnSe | |
Oリング材質 | 標準：バイトン オプション：カルレッツ | |
配管取合い | 標準：1/4インチ Swagelok オプション：1/4インチVCR | |
波数分解能 | 0.5、1、2、4、8、16(cm-1) | |
測定周期 | 約0.6秒(測定条件により異なります。) | |
使用温度範囲 | 10〜30℃ | |
使用湿度範囲 | 70％Rh以下 | |
電源 | AC100±10V 50/60Hz(海外仕様は別途ご用意) | |
消費電力 | (FG-110A) 240VA(2.4mセル) | |
窒素ガス | 分析計パージ用：常時 5L/min程度 | |
液体窒素 | (FG-110A) 500〜600mL | |
質量 | シングルセルタイプ：40kg(2.4mセル) デュアルセルタイプ：50kg | |
適応規格 | CEマーキング、FCC Part 15(Class A) | |
■コントロールユニット (FGC-10)仕様 | |
用途 | 連続モニタリング |
表示内容 | 成分名、指示値、濃度警報など |
表示成分数 | 5成分/1画面 |
外部入出力 | アナログ入出力(0-1V)、デジタル入出力 |
サイズ | W450×D300×H230mm |
電源 | AC100-240V 50/60Hz |
消費電力 | 80VA |
※詳細はお問合せください。 | |
外形寸法図・他（単位：mm）
