薬液計測/モニタリング

実現！　インライン・マルチモニタリング。

マルチバス、ワンバス、枚葉各方式の洗浄装置に対応。

テクスチャー構造形成のプロセスの最適化に貢献します。

半導体特製造プロセスの厳しいニーズに対応するために開発された高精度なフッ酸濃度モニタです。電磁誘導方式導電率計の採用により、フッ酸濃度を測定し、リアルタイムに表示します。しかも、低濃度域においても高い再現性精度を実現。エッチングを含むウエハの洗浄工程におけるフッ酸濃度の管理をはじめ、フッ酸が利用されている様々な産業分野に幅広く対応します。...

【新製品】

ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適な、低濃度から高濃度までのフッ酸・塩酸を高精度に測定するHF/HCl濃度モニタ

ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適、低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアを高精度に測定

【新製品】

半導体製造やFPD製造工程の薬液・排液管理に最適な導電率計。耐薬性の高いカーボンセンサと組み合わせワイドレンジを高精度に計測。

工業用比抵抗計 HE-480Rは、高精度な温度補償性能を持つ比抵抗計です。