ガス制御／濃度管理／圧力計測

ワールドクラスの流体制御技術で、流量・圧力・濃度を制御。

太陽電池の開発・製造に欠かせない流体制御技術。液体材料気化の安定供給、ガス流量制御、ガス濃度・圧力制御、チャンバ状態監視により、品質・歩留まり向上及び、発電効率の高い成膜プロセスの実現に大きく貢献します。

デジタルマスフローコントローラ　SEC-Z500X series

RoHS指令対応オールインワンのハイエンドモデル

ソレノイドバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

各種プロセスのライン圧力制御に最適圧力制御設定信号の入力によりライン圧力の遠隔制御が可能高性能圧力センサとピエゾバルブを内蔵ウルトラクリーン対応のプロセスラインに最適...

気液混合気化方式により液体材料の高効率気化を実現

液体材料を｢安全に」「無駄なく」「迅速に」液体材料気化システムへ自動供給できる新型モデル

世界最小クラスの四重極質量分析計

分析用途をさらに広げるコンパクトサイズ。FG-100Aシリーズは、地球温暖化防止のため削減が求められる温室効果ガス、PFCsをはじめ、各種半導体・FPDプロセスガスなどの多様な分析を可能にしたFTIRガス分析計です。

現場での効率的なガス計測を追求して、大幅なコンパクト化を実現するとともにシングルセルタイプとデュアルセルタイプの2種類をご用意。測定ポイントへの設置・移動が容易な上、分析用途も多彩です。

半導体・FPDプロセスガス分析に最適なソフトウェア...