TMAH用導電率計 HE-960TM
概要
現像液TMAHの濃度管理に最適
TMAH用導電率計 HE-960TMは、半導体・液晶プロセスで用いられるフォトレジスト現像液の主成分である、TMAH (Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)溶液の導電率を高精度に測定します。
専用センサのFES-120Niは、ワイドなレンジ幅を備え、さらに耐薬性の高い構造ですので、TMAH測定に最適です。
特長
- ワイドレンジ
- インライン測定
- 自動温度補償
鉛フリーはんだを採用
製造会社: HORIBA Advanced Techno
仕様
型名 | HE-960TM |
|---|---|
測定方式 | 電極式 |
電源 | 定格電圧100〜 240VAC 50/60Hz 10VA（max） |
保護構造 | パネル部：IP65（IEC60529,JIS C0920） |
適合規格 | CEマーキング、FCC規則 |
外形寸法 | 96（W）×96（H）×115（D） |
質量 | 約500g |
