コンパクトベーキングシステム LSC series

概要

TEOSをはじめとした液体材料の気化システムで、多数の納入実績を誇るLSCシリーズに大流量発生を実現させた新モデルです。従来同様にキャリアガスを用いずに液体材料の安定気化を行なう新型のLSC-A100シリーズは、コンパクトサイズながら大流量の気化発生を可能としたモデルです。

プロセスに応じた液体材料気化システム（インジェクション方式、ベーキング方式）へ、液体材料マザータンクから安全に迅速に液体材料を自動供給する総合的なシステムをご提供しています。

液体材料を“安全に”“無駄無く”“迅速に”気化システムへ自動に供給

製造会社: HORIBA STEC

発生流量	H2O 2SLM、TEOS 600SCCM(max)
使用圧力	max：1.33kPa
ソースタンク容量	2.7L
温調方式	温調器によるPID制御
液面検出方法	フロートスイッチ
内蔵マスフローコントローラ	SEC-8400シリーズ
空圧弁	ベローズタイプ、ダイヤフラムタイプ
接液・ガス部材質	SUS-316L、PA
使用周囲温度	20〜35℃
外部入力	空圧弁開閉マスフローコントローラ流量設定信号(0〜5VDC/0〜100％F.S.) 非常停止信号、オートゼロ信号(オプション)
外部出力	本体予熱完了信号温度アラーム液レベルH.H.アラーム液レベル信号(H、M、L) マスフローコントローラ流量出力信号(0〜5 VDC/0〜100%F.S.)　恒温槽内部ファン停止アラームバルブ電圧モニター(オプション)
電源	AC 100 V 単相50/60 Hz 1.5 kVA
その他	オートリチャージシステム：LUseriesとの接続が可能です。