素材解析
フォトルミナーDはシリコン中の微量不純物分析用途を目的として開発されました。シリコンは最もよく使用されている半導体です。フォトルミネッセンス法は品質管理に応用すぺく長年研究が行われてきました。1977年電子技術総合研究所の田島博士(現在：宇宙科学研究所)はシリコン中の不純物定量分析をフォトルミネッセンス法で評価する方法を開発されました。この方法によりシリコン中のB,P,Al,As...
フォトルミナーSは高感度な分光分析用PLシステムです。高感度測定はPL装置では重要です。第一に微弱なPL光を検出するためです。その他、励起光密度の増大によりPLスペクトルの形状が変化したり、励起光密度の変化によりPLスペクトルのピーク波長が変化するケースがあり、高感度測定装置であれぱ励起光密度の変化に対応しやすいと考えるからです。フォトルミナーSは高品質の集光レンズを採用しています。そしてソフトウェアにより測定波長と同期してレンズが移動し色収差の影響を無く...
カソードルミネッセンスMP-32S/Mは、サーマルタイプのフィールドエミッションSEMを使用し、今まで不可能だった微少領域における高空間分解能での評価を実現、サブミクロンの壁を突破しました。...