マスフローコントローラ　アクセサリ

コンパクトボディに使用頻度の高い機能を集約した制御ユニットです。前面パネルからの操作が行えます。

マスフローメータ専用のモニタユニットです。

マスフローコントローラ・マスフローメータやオートプレッシャーレギュレータの駆動電源及びアナログ制御時の設定基準電圧：5VDCを供給するアクセサリです。

流量・圧力信号(0〜5VDC)をデジタル表示するユニットです。

マスフローコントローラ用の小型表示・設定ユニットです。

他社製MFCから弊社製MFCへの変更時にご使用頂く場合の変換アダプターです。

マスフローコントローラ/メータ(MFC/MFM)やオートプレッシャーレギュレータ(UR)と各種専用制御・駆動機器をコネクターにより接続する専用の信号ケーブルです。

マスフローコントローラに不具合が生じている場合は、その原因追求の為にMFCのシステムを構成しているSEC・電源・表示器・設定器・ケーブル等の異常やSEC自身の不具合原因を発見しなければなりません。MFT-20では、SECを駆動、入出力している電圧をモニタしたり、MFT-20により制御する事でSECが正常であるかをチェックする事ができます。従ってSECを装置配管から取り外す前にすみやかにSECのトラブルや電源等のトラブルが確認できます。また、本体に内蔵しているポテンションメータによりSECを制御する事も可能です。