HORIBA薬液濃度モニタリングに多点計測をラインアップ。光ファイバ式薬液濃度モニタ1台で、半導体洗浄工程及びエッチング工程における多様な薬液の最大4測定点における高速インライン測定が可能となりました。
消費電力 ： 110VA （削減率：45%）
約2秒/測定点
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製造会社: HORIBA
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