ガス濃度モニタ
半導体製造の成膜プロセスは、微細加工の進歩に伴い、処理後のチャンバを常にクリーンな状態に保つことが、生産性向上に重要とされています。IR-200は、チャンバークリーニングプロセスにおいて、クリーニングガスとして広く利用されているフッ素系ガスとシリコンとの反応生成ガスであるSiF4ガス濃度をリアルタイムにモニタリングし、クリーニング終点の判別に寄与します。...
分析用途をさらに広げるコンパクトサイズ。FG-100Aシリーズは、地球温暖化防止のため削減が求められる温室効果ガス、PFCsをはじめ、各種半導体・FPDプロセスガスなどの多様な分析を可能にしたFTIRガス分析計です。
現場での効率的なガス計測を追求して、大幅なコンパクト化を実現するとともにシングルセルタイプとデュアルセルタイプの2種類をご用意。測定ポイントへの設置・移動が容易な上、分析用途も多彩です。
半導体・FPDプロセスガス分析に最適なソフトウェア...