チャンバクリーニング終点検知用ガス濃度モニタ IR-200
概要
半導体製造の成膜プロセスは、微細加工の進歩に伴い、処理後のチャンバを常にクリーンな状態に保つことが、生産性向上に重要とされています。IR-200は、チャンバークリーニングプロセスにおいて、クリーニングガスとして広く利用されているフッ素系ガスとシリコンとの反応生成ガスであるSiF4ガス濃度をリアルタイムにモニタリングし、クリーニング終点の判別に寄与します。
特長
- コンパクト設計、排気ラインへの組込み
- ガスセル加熱に対応（最大：１５０℃）
製造会社: HORIBA
仕様
型式 | IR-200 |
|---|---|
測定ガス種 | SiF4 |
測定濃度範囲 | 0～5000ppm(0～500Pa)※ |
再現性 | ±1%F.S. |
ガスセル光路長 | 30mm |
応答速度 | T90: 30秒以下 |
ガスセル耐圧 | 0.3MPa(G) |
ガスセル加熱温度 | 150℃(最大) |
接ガス部材質 | SUS-316L、BaF2、FKM |
リークレート | 1×10-10Pa・m3/s |
配管取合い | NW25フランジ |
アナログ出力 | DC 4-20mA |
接点出力 | ERR、High、Lowアラームの3チャンネル |
接点入力 | ゼロ校正用として、1チャンネル |
電源 | DC 24V、30W(最大) |
外形寸法 | センサユニット： 150×268×90mm コントロールユニット： 96×130×48mm |
質量 | センサユニット：約4.5kg コントロールユニット：約0.5kg |