一次側、二次側の圧力変動の影響を受けにくい、高安定な流量制御を実現したマスフローモジュール
実績あるサーマルセンサ搭載の進化モデル
RoHS指令対応オールインワンのハイエンドモデル
高温環境対応、デジタルタイプのマスフローコントローラ
微少流量から大流量制御に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローコントローラ
メタルシール・ローコストモデル
サーマルバルブ搭載、マスフローコントローラのベーシックモデル
メタルO-リング対応の大流量モデル
高温環境対応、ピエゾバルブ搭載のマスフローコントローラ
高温環境対応、サーマルバルブ搭載のマスフローコントローラ
ソレノイドバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ
サーマルバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ
