マスフローコントローラ前後に圧力変動が生じた場合でも安定した流量制御を行います。マルチチャンバーでのガスラインは、圧力変動によるマスフローコントローラのクロストーク現象が発生し易い為、ラインレギュレータ、圧力センサー、フィルターが取り付けられています。新型マスフローコントローラSEC-Z700 series、CRITERION D200 seriesは、圧力変動の影響を受けにくく、常に安定した流量制御を実現した製品です。流量出力だけでなく、温度、圧力の出力機能も装備しています。通信は、アナログ、RS-485、DeviceNet™の各種インターフェースをラインアップ。ガスラインの高性能化、コンパクト化、軽量化に最適です。

CRITERION^TMは流量計測部に新たな計測方式である「層流域差圧検出」を採用し、高感度、高範囲の流量計測を実現させました。制御バルブには、メタルダイアフラムバルブ(ピエゾバルブ)を採用し、デッドボリュームの極めて小さい流路と高速制御性能を実現しています。制御バルブを流量計測部の一次側に配置することにより、供給圧力の変動による制御流量の乱れを生じさせない、優れたプレッシャーインセンシティブ性能を発揮しています。制御には、32Bit CPUを搭載したデジタル回路を使用しており、流量抵抗体であるフローリストリクタの2次側圧力と差圧に対する質量流量の実ガスデータの関係(３D MAP)を高速演算させ、高精度、高分解能、高速応答性能を実現しています。通信には、アナログ通信、RS485シリアル通信、DeviceNet ^TMの各種インターフェースに対応するモデルをラインアップしています。

→CRITERION　構造／性能について