デジタルマスフローコントローラ　SEC-Z500X series

概要

半導体製造装置のキーパーツ、マスフローコントローラ。その性能・品質は、半導体デバイスのクオリティそのものに影響を与えるほど重要な役割を担っています。そんなシビアな業界にあって、高品質で機能性に富む製品を次々に市場へ投入し、世界シェア30％以上^※1を誇る堀場エステックから、従来の概念を打ち破った全く新しいタイプのマスフローが誕生しました。「SEC-Z500X」
これまでガスの種類ごと、あるいは流量ごとに必要だったマスフローの機能を集約しています。お客様ご自身で今必要とされるマスフローへご自身で仕様変更いただけます。しかもRoHS規制に対応しており、環境保全、企業価値の向上にもお役立ちします。未知の魅力にあふれた、高機能・高付加価値の「X」。まさに半導体業界の未来を担うマスフローの誕生です。

※1 VLSI リサーチ社レポート2007より

SEC-Z500X 詳細情報