
大流量・エコノミーマスフローコントローラ SEC-E series
概要
生産性向上の要因として、製造設備の高性能化や小型化・ローコスト化等が着目されています。これらの要求はガス供給系、とりわけキーデバイスと称されるマスフローコントローラへの要求へ繋がります。SEC-E seriesは各種バーナーガスの流量制御、パージガスの流量制御、実験ガスでのガス流量制御、自動化が要求される流量制御設備、消費流量の積算量を把握したい設備など、様々なプロセスに魅力あるコストで対応しています。
特長
- 広範囲な流量制御に対応 同一シリーズで0.2SCCMから500SLM(N2)までの流量制御に対応
- 幅広いご用途に対応 一般産業市場において多数の納入実績を誇っています。
- ローコスト コストメリットを追求したモデルをラインアップ:SEC-E40MK3/E50MK3
製造会社: HORIBA STEC






