マスフローメータ　SEF-51/52

「フローライン」シリーズは、最先端半導体製造技術を応用してシリコンチップ上に形成された、超小型の流量センサを内蔵した気体流量計です。測定ガスの流れの中に流量センサを配置し、全流量を高速検知するスルーフロー方式を採用しています。また流量は質量流量として測定されるため、浮子式流量計に比べ圧力変化や取付姿勢などによる指示誤差がなく、従来の流量計では実現できなかった新しい用途への適用が可能になりました。