高温対応デジタルマスフローコントローラ SEC-8000F/D series

概要

SEC-8000F/D seriesは従来の高温環境対応マスフローコントローラのデジタル制御回路を搭載したモデルです。デジタルネットワークの実現により、インテリジェント化ガスパネルの構築、省配線化によるシンプルなガスパネルの構築など、更なる流体制御システムが構築可能となりました。また従来製品からの性能も向上し、幅広いプロセスに対応しております。

特長

  • 高温対応モデルにデジタル制御回路を搭載

  • ±1.0S.P.(セットポイント)保証

  • 1秒以内(T98) Variable PID(特許出願中)を搭載

  • デジタルネットワークが実現し高度な流体制御システムが構築可能

  • ウルトラクリーン対応

  • RoHS指令対応モデル


製造会社: HORIBA STEC

外形寸法図・他(単位:mm)

SEC-8000

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