
高温対応デジタルマスフローコントローラ SEC-8000F/D series
概要
SEC-8000F/D seriesは従来の高温環境対応マスフローコントローラのデジタル制御回路を搭載したモデルです。デジタルネットワークの実現により、インテリジェント化ガスパネルの構築、省配線化によるシンプルなガスパネルの構築など、更なる流体制御システムが構築可能となりました。また従来製品からの性能も向上し、幅広いプロセスに対応しております。
特長
高温対応モデルにデジタル制御回路を搭載
±1.0%S.P.(セットポイント)保証
1秒以内(T98) Variable PID(特許出願中)を搭載
デジタルネットワークが実現し高度な流体制御システムが構築可能
ウルトラクリーン対応
RoHS指令対応モデル
製造会社: HORIBA STEC




