圧力制御機器

デジタルタイプのオートプレッシャレギュレータ

各種プロセスのライン圧力制御に最適圧力制御設定信号の入力によりライン圧力の遠隔制御が可能高性能圧力センサとピエゾバルブを内蔵ウルトラクリーン対応のプロセスラインに最適...

高速応答のピエゾバルブを内蔵し、接ガス部がオールメタル構造でウルトラクリーン対応の高純度ガス供給系に最適メタルシール方式で超低リークガスだけでなく、液体の流量制御も可能...

拡販プロセスの歩留り向上や腐食ガスリークの防止、大気からのコンタミネーションの低減にエッチャーやCVDでのチャンバ圧力制御やスピンコーターの排気量制御に最適