排気圧コントローラ EC series
概要
チャンバーの内部圧力を任意の値に一定に制御する排気圧コントローラです。高分解能なステッピングモーターと独自構造のバタフライバルブにより高速応答・高分解能な性能を実現しています。
特長
- 高真空対応 ステンレスボディを採用
- 耐腐食性対応 PTFE（ふっ素樹脂）採用モデルもラインアップ
- 排気圧制御システムを構築 微差圧センサ（EMTGC1B-A）
コントローラ（PCU-3000）をラインアップ - RoHS指令対応
製造会社: HORIBA STEC
仕様
EC-5104
取合いサイズ | NW40 |
|---|---|
接ガス部材質 | SUS-316L、バイトン® |
コンダクタンス | 0.4 〜 80 L/s |
100mmH2Oでの出流れ | 20 L/min
|
EC-5105
取合いサイズ | NW50 |
|---|---|
接ガス部材質 | SUS-316L、バイトン® |
コンダクタンス | 0.6 〜 200 L/s |
100mmH2Oでの出流れ | 25 L/min |
EC-5202
取合いサイズ | 25mmテフロン®継手 |
|---|---|
接ガス部材質 | PTFE、PEEK、バイトン® |
コンダクタンス | 0.4 〜 80 L/s |
100mmH2Oでの出流れ | 3 L/min |
外形寸法図・他（単位：mm）
