デジタルオートプレッシャレギュレータ　UR-Z700 series

UR-Z700 seriesは高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを搭載したデジタルタイプのオートプレッシャレギュレータです。デジタルネットワークの実現により、高度な液体材料気化システムの構築、省配線化によるシンプルなガスパネルの構築など、更なる流体制御システムが構築可能となりました。また、ウルトラクリーン対応で、超高純度ガス供給系や活性ガスライン等の圧力制御機器に最適です。