ピエゾバルブ PV series
概要
高速応答のピエゾバルブを内蔵し、接ガス部がオールメタル構造でウルトラクリーン対応の高純度ガス供給系に最適
メタルシール方式で超低リーク
ガスだけでなく、液体の流量制御も可能
特長
- ウルトラクリーン対応：オールメタル構造を採用
- 広範囲は流体制御に対応：微小流量から大流量の流体制御が可能
- 高温対応モデルラインアップ：PV-1000S/2000Sタイプ
- RoHS指令適合
製造会社: HORIBA STEC
仕様
PV-1000 | |
|---|---|
流量レンジ | 1/5/100/200/500 CCM |
流量制御範囲 | フルスケールの2〜100% |
バルブ方式 | ノーマルオープン/クローズ型 |
制御入力1 | 0〜5VDC |
応答性 | 0.5秒以内 |
使用温度 | 0〜50℃ |
使用圧力 | MAX.300kPa |
耐圧 | 1MPa |
リーク規格 | 5×10-12Pa・m3(He) |
PV-2000 | |
|---|---|
流量レンジ | 10/20 LM (入口大気圧、出口真空、N2換算) |
流量制御範囲 | フルスケールの2〜100% |
バルブ方式 | ノーマルオープン/クローズ型 |
制御入力1 | 0〜5VDC |
応答性 | 0.5秒以内 |
使用温度 | 0〜50℃ |
使用圧力 | MAX.300kPa |
耐圧 | 1MPa |
リーク規格 | 5×10-12Pa・m3(He) |
外形寸法図・他（単位：mm）
