残留ガス分析計 MICROPOLE System

RGA

概要

残留ガス分析計MICROPOLETMSystemは、半導体や液晶パネル、太陽電池などを成膜する真空チャンバーの全圧及び残留しているガスの分圧を計測できる質量分析計です。質量検出部には9つの四重極部で構成し、『世界最小クラスのサイズ』、『軽量化』、『高圧化』を実現しています。このため、設置スペースも小さく、取り付けも容易に行えます。MICROPOLETMSystemは3.5インチ液晶ディスプレイ搭載のコントローラを使用した場合はパソコンの必要なしにデータを採取することが可能です。パソコンを使用する場合においては、Ether-Net/RS485にて制御することができ、複数台のMICROPOLETMSystemの接続も可能です。また、3Dデータ表示など多彩な表示が可能です。

特長

  •  世界最小クラスのサイズと重さ

他社比１/20以下を実現　小型のため、狭い所でも取付可能

  • ９つの四重極部構造を採用
  • 低真空(高圧)域　0.9Pa(7mTorr)まで操作可能

専用の排気が必要でない為、追加設備コストは不要

  • ディスボーサブル

MPAセンサ部は、互換性がありますので、ユーザーサイドでセンサー交換が簡単に行えます。

  • 3.5インチカラーディスプレイ搭載のモニターコントローラを採用

PCレスでの使用が可能。またPC使用により現場と遠方でのデータ確認が可能

  • RS485ディジーチェーンによりMAX8ユニットを接続可能
  • 各種グラフモードがPC用ソフト(MICROPOLE SCANNER)に組み込まれています。

トレンドグラフ・アナロググラフ・バーグラフ・３Dグラフ

  • Φ34コンフラットフランジ取合可能

■測定原理

RGAはイオン源、質量分析部、計測部から構成されます。残留ガスは高温のフィラメントから放出された熱電子と衝突しイオン化され、生成したイオンは加速・収束されて質量分析部に導かれます。質量分析部では4本の円柱形電極(四重極)に直流及び交流電圧を印加することにより、イオンの質量がふるい分けられます。分離されたイオンはファラデーカップで電流として検出され、このイオン電流が残留ガスの量(分圧)に比例します。

 

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

　　　　　　　　　　　　　　　　　

■MICROPOLETM Analyzer

MICROPOLE™ Sytemの特徴は、超精密光エッチング加工技術及びガラス/金属接合技術を駆使して四重極を9組組合わせた、MICROPOLE™ Analyzer(MPA)です。このMPAの開発により大型の質量分析装置と同等以上の性能を有しながら世界最小クラスの残留ガス分析装置が実現しました。本分析部はプラグイン方式のユニットタイプであり、あらかじめ分圧校正されたセンサユニットを装着するだけで全圧および分圧の絶対値を計測できます。

　　　　　　　　　　　　　　　

製造会社: HORIBA STEC

仕様

MICROPOLETMSystem　仕様一覧

外形寸法図・他（単位：mm）

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